Utstyret benytter elektronstrålefordampningsteknologi. Elektroner sendes ut fra katodetråden og fokuseres til en bestemt strålestrøm, som akselereres av potensialet mellom katoden og digelen for å smelte og fordampe beleggmaterialet. Det har egenskaper med høy energitetthet og kan fordampe beleggmaterialet med et smeltepunkt på over 3000 ℃. Filmen har høy renhet og høy termisk effektivitet.
Utstyret er utstyrt med elektronstrålefordampningskilde, ionkilde, system for overvåking av filmtykkelse, korrigeringsstruktur for filmtykkelse og stabilt paraplysystem for arbeidsstykkerotasjon. Gjennom ionkildeassistert belegg økes filmens kompakthet, brytningsindeksen stabiliseres, og fenomenet med bølgelengdeforskyvning på grunn av fuktighet unngås. Det helautomatiske sanntidsovervåkingssystemet for filmtykkelse kan sikre repeterbarhet og stabilitet i prosessen. Det er utstyrt med selvsmeltefunksjon for å redusere avhengigheten av operatørens ferdigheter.
Utstyret kan brukes på ulike oksider og metallbeleggmaterialer, og kan belegges med flerlags presisjonsoptiske filmer, som AR-film, langbølget pass, kortbølget pass, lysnende film, AS/AF-film, IRCUT, fargefilmsystem, gradientfilmsystem, etc. Det har blitt mye brukt i AR-briller, optiske linser, kameraer, optiske linser, filtre, halvlederindustrier, etc.