1. Kenmerken van de elektronenstroom van booglicht
De dichtheid van de elektronenstroom, ionenstroom en hoogenergetische neutrale atomen in boogplasma gegenereerd door boogontlading is veel hoger dan die van glimontlading. Er zijn meer gasionen en metaalionen, geïoniseerde, geëxciteerde hoogenergetische atomen en diverse actieve groepen in de coatingruimte, die een belangrijke rol spelen in de verwarmings-, reinigings- en coatingfasen van het coatingproces. De werkingsvorm van boogelektronenstroom verschilt van die van een ionenbundel; niet alle ionen convergeren tot een "bundel", maar bevinden zich meestal in een divergente toestand, daarom wordt het boogelektronenstroom genoemd. Omdat boogelektronen naar de anode stromen, wordt de boogelektronenstroom gericht naar de plaats waar de positieve elektrode van de boogvoeding is aangesloten. De anode kan een werkstuk, hulpanode, smeltkroes, enz. zijn.
2. Methode voor het genereren van boogelektronenstroom
(1) De gasbron genereert een boogelektronenstroom: de boogstroom van holle-kathodeboogontlading en hete-draadboogontlading kan ongeveer 200 A bereiken, en de boogspanning is 50-70 V.
(2) Vaste bron genereert boogelektronenstroom: kathodeboogbron, inclusief kleine boogbron, cilindrische boogbron, rechthoekige vlakke grote boogbron, enz. De boogstroom van elke kathodeboogbronontlading is 80-200A en de boogspanning is 18-25V.
De boogelektronenstroom met hoge dichtheid en lage energie in twee typen boogontladingsplasma's kan intense botsingsionisatie met gas- en metaalfilmatomen genereren, waardoor er meer gasionen, metaalionen en verschillende actieve atomen en groepen met hoge energie worden verkregen, waardoor de algehele activiteit van de ionen in de filmlaag wordt verbeterd.
–Dit artikel is gepubliceerd door Guangdong Zhenhua, eenfabrikant van vacuümcoatingmachines
Geplaatst op: 31 mei 2023