De apparatuur maakt gebruik van elektronenbundelverdampingstechnologie. Elektronen worden uitgezonden door de kathodefilament en gebundeld in een specifieke bundelstroom, die wordt versneld door het potentiaalverschil tussen de kathode en de smeltkroes om het coatingmateriaal te smelten en te verdampen. Het heeft een hoge energiedichtheid en kan het coatingmateriaal verdampen met een smeltpunt van meer dan 3000 °C. De film heeft een hoge zuiverheid en een hoge thermische efficiëntie.
De apparatuur is uitgerust met een elektronenbundelverdampingsbron, een ionenbron, een systeem voor filmdiktebewaking, een correctiestructuur voor filmdikte en een stabiel paraplu-werkstukrotatiesysteem. Door de coating met behulp van een ionenbron wordt de compactheid van de film verhoogd, de brekingsindex gestabiliseerd en golflengteverschuiving door vocht vermeden. Het volledig automatische realtime filmdiktebewakingssysteem garandeert de herhaalbaarheid en stabiliteit van het proces. Het systeem is uitgerust met een zelfsmeltfunctie om de afhankelijkheid van de vaardigheden van de operator te verminderen.
De apparatuur is toepasbaar op diverse oxiden en metaalcoatingmaterialen en kan worden gecoat met meerlaagse optische precisiefilms, zoals AR-film, langegolfdoorlaat, kortegolfdoorlaat, oplichtende film, AS/AF-film, IRCUT, kleurenfilmsysteem, gradiëntfilmsysteem, enz. Het is op grote schaal gebruikt in AR-brillen, optische lenzen, camera's, optische lenzen, filters, halfgeleiderindustrieën, enz.