ပလာစမာကို မြှင့်တင်ထားသော ဓာတုအငွေ့များ ဖြစ်ထွန်းမှု အခန်း ၂

ဓာတုဒြပ်စင်အများစုသည် ၎င်းတို့ကို ဓာတုအုပ်စုများနှင့် ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့် အငွေ့ပျံနိုင်သည်၊ ဥပမာ- Si သည် SiH4 အဖြစ် H နှင့် ဓာတ်ပြုပြီး Al သည် CH3 နှင့် Al (CH3) အဖြစ်ပေါင်းစပ်သည်။ အပူ CVD လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ အထက်ဖော်ပြပါ ဓာတ်ငွေ့များသည် အပူပေးထားသော အလွှာများကို ဖြတ်သန်းကာ CH3 နှင့် AL(CH3)2 ကဲ့သို့သော ဓာတ်ပြုအုပ်စုများအဖြစ် ဖွဲ့စည်းကြသဖြင့် ၎င်းတို့သည် တစ်ခုနှင့်တစ်ခု ပေါင်းစည်းကာ၊ ထို့နောက် အောက်စထရိတ်ပေါ်တွင် စုဆောင်းထားသည့် ဓာတ်ပြုအုပ်စုများအဖြစ် အချင်းချင်း ပေါင်းစပ်ကြသည်။ နောက်ပိုင်းတွင် ၎င်းတို့သည် တစ်ခုနှင့်တစ်ခု ပေါင်းစပ်ကာ ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များအဖြစ် စုဆောင်းထားကြသည်။ PECVD ၏ဖြစ်ရပ်တွင်၊ ပလာစမာရှိ အီလက်ထရွန်များ၊ စွမ်းအားရှိသော အမှုန်အမွှားများနှင့် ဓာတ်ငွေ့အဆင့် မော်လီကျူးများ တိုက်မိခြင်းကြောင့် အဆိုပါ ဓာတ်ပြုဓာတုအုပ်စုများဖွဲ့စည်းရန် လိုအပ်သော လှုံ့ဆော်မှုစွမ်းအင်ကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။

PECVD ၏ အားသာချက်များသည် အဓိကအားဖြင့် အောက်ပါ ကဏ္ဍများတွင် ဖြစ်သည်။

(1) သမရိုးကျ ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်းနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက လုပ်ငန်းစဉ်အပူချိန် လျော့နည်းခြင်း၊ အဓိကအားဖြင့် သမားရိုးကျ အပူပေးခြင်းအစား ပလာစမာဓာတ်ပြုသော အမှုန်အမွှားများကို လှုံ့ဆော်ပေးခြင်း၊

(၂) သမားရိုးကျ CVD ကဲ့သို့ပင်၊ ကောင်းမွန်သော ဖလင်အလွှာ၏ ပတ်ပတ်လည် ပတ်ပတ်လည်တွင် ကပ်ထားခြင်း၊

(၃) ဖလင်အလွှာ၏ဖွဲ့စည်းမှုအား ကြီးမားသောအတိုင်းအတာအထိ နိုင်ထက်စီးနင်းထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး Multilayer ရုပ်ရှင်များရရှိရန် လွယ်ကူစေသည်။

(၄) ရုပ်ရှင်ဖိစီးမှုကို ကြိမ်နှုန်းမြင့်/နိမ့် ရောစပ်နည်းပညာဖြင့် ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။

- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua