የፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት ምዕራፍ 2

አብዛኛዎቹ የኬሚካል ንጥረ ነገሮች ከኬሚካል ቡድኖች ጋር በማጣመር ሊተኑ ይችላሉ፣ ለምሳሌ Si ከ H ጋር ምላሽ በመስጠት SiH4 ይፈጥራል፣ እና Al ከ CH3 ጋር ይዋሃዳል እና Al (CH3) ይፈጥራል። በሙቀት CVD ሂደት ውስጥ፣ ከላይ የተጠቀሱት ጋዞች በሞቀው ንጣፍ ውስጥ ሲያልፉ የተወሰነ የሙቀት ኃይልን ይወስዳሉ እና እንደ CH3 እና AL (CH3)2፣ ወዘተ ያሉ ምላሽ ሰጪ ቡድኖችን ይፈጥራሉ። ከዚያም እርስ በእርስ ይዋሃዳሉ እና ምላሽ ሰጪ ቡድኖችን ይፈጥራሉ፣ ከዚያም በንጥረ ነገሩ ላይ ይቀመጣሉ። በመቀጠልም፣ እርስ በእርስ ይዋሃዳሉ እና እንደ ቀጭን ፊልሞች ይቀመጣሉ። በ PECVD ሁኔታ፣ በፕላዝማ ውስጥ የኤሌክትሮኖች፣ የኢነርጂ ቅንጣቶች እና የጋዝ-ደረጃ ሞለኪውሎች ግጭት እነዚህን ምላሽ ሰጪ የኬሚካል ቡድኖች ለመፍጠር የሚያስፈልገውን የማነቃቂያ ኃይል ይሰጣል።

የ PECVD ጥቅሞች በዋናነት በሚከተሉት ገጽታዎች ላይ የተመሰረቱ ናቸው፡

(1) ከተለመደው የኬሚካል ትነት ክምችት ጋር ሲነጻጸር ዝቅተኛ የሂደት ሙቀት፣ ይህም በዋናነት ከተለመደው የማሞቂያ ማግበር ይልቅ በፕላዝማ ምላሽ ሰጪ ቅንጣቶች ማግበር ምክንያት ነው፤

(2) ልክ እንደ ተለምዷዊው CVD፣ የፊልም ንብርብር በጥሩ ሁኔታ መጠቅለል፤

(3) የፊልም ንብርብር ቅንብር በዘፈቀደ በከፍተኛ ደረጃ ቁጥጥር ሊደረግበት ይችላል፣ ይህም ባለብዙ ሽፋን ፊልሞችን ማግኘት ቀላል ያደርገዋል፤

(4) የፊልም ውጥረት በከፍተኛ/ዝቅተኛ ድግግሞሽ ማደባለቅ ቴክኖሎጂ ሊቆጣጠር ይችላል።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ