Аксари унсурҳои кимиёвиро метавон бо роҳи якҷоя кардани онҳо бо гурӯҳҳои кимиёвӣ бухор кард, масалан, Si бо H реаксия карда, SiH4-ро ташкил медиҳад ва Al бо CH3 якҷоя шуда, Al(CH3)-ро ташкил медиҳад. Дар раванди гармии CVD, газҳои дар боло зикршуда ҳангоми гузаштан аз зеризаминии гарм миқдори муайяни энергияи гармиро ҷаббида, гурӯҳҳои реактивӣ, ба монанди CH3 ва AL(CH3)2 ва ғайраро ташкил медиҳанд. Сипас онҳо бо ҳамдигар якҷоя шуда, гурӯҳҳои реактивиро ташкил медиҳанд, ки сипас дар зеризаминӣ ҷойгир мешаванд. Баъдан, онҳо бо ҳамдигар якҷоя шуда, ҳамчун плёнкаҳои тунук ҷойгир мешаванд. Дар мавриди PECVD, бархӯрди электронҳо, зарраҳои энергетикӣ ва молекулаҳои фазаи газӣ дар плазма энергияи фаъолсозиро, ки барои ташкили ин гурӯҳҳои химиявии реактивӣ зарур аст, таъмин мекунад.
Афзалиятҳои PECVD асосан дар ҷанбаҳои зерин мебошанд:
(1) Ҳарорати пасттари раванд дар муқоиса бо таҳшиншавии буғии анъанавии кимиёвӣ, ки асосан аз сабаби фаъолшавии плазмавии зарраҳои реактивӣ ба ҷои фаъолсозии гармкунии анъанавӣ ба амал меояд;
(2) Мисли CVD-и анъанавӣ, қабати плёнкаи хуби печонидашуда;
(3) Таркиби қабати плёнкаро метавон ба таври худсарона то андозае назорат кард, ки ба даст овардани плёнкаҳои бисёрқабата осон аст;
(4) Шиддати плёнкаро метавон бо технологияи омезиши басомади баланд/паст идора кард.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 18 апрели соли 2024