زیادہ تر کیمیائی عناصر کو کیمیائی گروہوں کے ساتھ ملا کر بخارات بنایا جا سکتا ہے، مثلاً Si H کے ساتھ رد عمل ظاہر کر کے SiH4 بناتا ہے، اور Al CH3 کے ساتھ مل کر Al(CH3) بناتا ہے۔ تھرمل CVD کے عمل میں، مندرجہ بالا گیسیں حرارتی سبسٹریٹ سے گزرتے ہوئے تھرمل توانائی کی ایک خاص مقدار جذب کرتی ہیں اور رد عمل والے گروپس، جیسے CH3 اور AL(CH3)2، وغیرہ بناتی ہیں۔ پھر وہ ایک دوسرے کے ساتھ مل کر رد عمل والے گروپ بناتی ہیں، جو کہ پھر سبسٹریٹ پر جمع ہو جاتی ہیں۔ اس کے بعد، وہ ایک دوسرے کے ساتھ مل جاتے ہیں اور پتلی فلموں کے طور پر جمع ہوتے ہیں. PECVD کی صورت میں، پلازما میں الیکٹران، توانائی بخش ذرات اور گیس فیز مالیکیولز کا تصادم ان ری ایکٹیو کیمیائی گروپس کی تشکیل کے لیے درکار ایکٹیویشن توانائی فراہم کرتا ہے۔
PECVD کے فوائد بنیادی طور پر درج ذیل پہلوؤں میں ہیں:
(1) روایتی کیمیائی بخارات کے جمع ہونے کے مقابلے میں عمل کا کم درجہ حرارت، جس کی بنیادی وجہ روایتی حرارتی ایکٹیویشن کے بجائے رد عمل والے ذرات کی پلازما ایکٹیویشن ہے۔
(2) روایتی CVD کی طرح، فلم کی پرت کی اچھی لپیٹ کے ارد گرد چڑھانا؛
(3) فلمی پرت کی ساخت کو بڑی حد تک من مانی طور پر کنٹرول کیا جا سکتا ہے، جس سے ملٹی لیئر فلمیں حاصل کرنا آسان ہو جاتا ہے۔
(4) فلم کے دباؤ کو ہائی/کم فریکوئنسی مکسنگ ٹیکنالوجی کے ذریعے کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔
-یہ مضمون جاری کیا گیا ہے۔ویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا
پوسٹ ٹائم: اپریل 18-2024