Bongata ba dielemente tsa dikhemikhale di ka fetoha mouoane ka ho di kopanya le dihlopha tsa dikhemikhale, mohlala, Si e arabela le H ho etsa SiH4, mme Al e kopana le CH3 ho etsa Al(CH3). Mokgweng wa CVD ya mocheso, dikhase tse boletsweng ka hodimo di monya matla a itseng a mocheso ha di feta ka hara substrate e futhumetseng mme di etsa dihlopha tse arabelang, tse kang CH3 le AL(CH3)2, jj. Ebe di a kopana ho etsa dihlopha tse arabelang, tse bewang hodima substrate. Ka mora moo, di a kopana mme di bewa e le difilimi tse tshesane. Tabeng ya PECVD, ho thulana ha dielektrone, dikarolwana tse matla le dimolek'hule tsa kgase ka hara plasma ho fana ka matla a ho kenya tshebetsong a hlokahalang ho theha dihlopha tsena tsa dikhemikhale tse arabelang.
Melemo ea PECVD e ka sehloohong lintlheng tse latelang:
(1) Mocheso o tlase oa ts'ebetso ha o bapisoa le ho kenngoa ha mouoane oa lik'hemik'hale ka mokhoa o tloaelehileng, e leng se bakoang haholo ke ho kenngoa ha likaroloana tse arabelang ka plasma ho e-na le ho kenngoa ha mocheso ka mokhoa o tloaelehileng;
(2) Ho tšoana le CVD e tloaelehileng, ho koahela hantle lera la filimi;
(3) Sebopeho sa lera la filimi se ka laoloa ka mokhoa o sa reroang haholo, e leng se etsang hore ho be bonolo ho fumana lifilimi tse nang le lera le lengata;
(4) Khatello ea filimi e ka laoloa ke theknoloji ea ho kopanya maqhubu a phahameng/a tlase.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Mmesa-18-2024