ធាតុគីមីភាគច្រើនអាចត្រូវបានហួតដោយផ្សំវាជាមួយក្រុមគីមី ឧទាហរណ៍ Si មានប្រតិកម្មជាមួយ H ដើម្បីបង្កើត SiH4 ហើយ Al ផ្សំជាមួយ CH3 ដើម្បីបង្កើត Al(CH3)។ នៅក្នុងដំណើរការ CVD កម្ដៅ ឧស្ម័នខាងលើស្រូបយកថាមពលកម្ដៅមួយចំនួននៅពេលដែលវាឆ្លងកាត់ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលត្រូវបានកំដៅ ហើយបង្កើតជាក្រុមប្រតិកម្ម ដូចជា CH3 និង AL(CH3)2 ជាដើម។ បន្ទាប់មកពួកវាផ្សំជាមួយគ្នាដើម្បីបង្កើតជាក្រុមប្រតិកម្ម ដែលបន្ទាប់មកត្រូវបានដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម។ បន្ទាប់មក ពួកវាផ្សំជាមួយគ្នា ហើយត្រូវបានដាក់ជាខ្សែភាពយន្តស្តើងៗ។ ក្នុងករណី PECVD ការប៉ះទង្គិចគ្នានៃអេឡិចត្រុង ភាគល្អិតថាមពល និងម៉ូលេគុលដំណាក់កាលឧស្ម័ននៅក្នុងប្លាស្មាផ្តល់នូវថាមពលធ្វើឱ្យសកម្មដែលត្រូវការដើម្បីបង្កើតជាក្រុមគីមីប្រតិកម្មទាំងនេះ។
គុណសម្បត្តិរបស់ PECVD ភាគច្រើនស្ថិតនៅក្នុងទិដ្ឋភាពដូចខាងក្រោម៖
(1) សីតុណ្ហភាពដំណើរការទាបជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងការដាក់ចំហាយគីមីធម្មតា ដែលភាគច្រើនដោយសារតែការធ្វើឱ្យសកម្មប្លាស្មានៃភាគល្អិតដែលមានប្រតិកម្មជំនួសឱ្យការធ្វើឱ្យសកម្មដោយកំដៅធម្មតា។
(2) ដូចគ្នានឹង CVD ធម្មតាដែរ ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តរុំព័ទ្ធបានល្អ។
(3) សមាសភាពនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងតាមអំពើចិត្តក្នុងកម្រិតធំ ដែលធ្វើឱ្យវាងាយស្រួលក្នុងការទទួលបានខ្សែភាពយន្តច្រើនស្រទាប់។
(4) ភាពតានតឹងនៃខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយបច្ចេកវិទ្យាលាយប្រេកង់ខ្ពស់/ទាប។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៨ ខែមេសា ឆ្នាំ ២០២៤