Himiki elementleriň köpüsini himiki toparlar bilen birleşdirmek arkaly buglandyryp bolýar, mysal üçin Si H bilen reaksiýa girip, SiH4 emele getirýär, Al bolsa CH3 bilen birleşip, Al(CH3) emele getirýär. Termal CVD prosesinde ýokardaky gazlar gyzdyrylan substratdan geçende belli bir mukdarda ýylylyk energiýasyny özüne siňdirip, CH3 we AL(CH3)2 ýaly reaktiw toparlary emele getirýär. Soňra olar biri-biri bilen birleşip, reaktiw toparlary emele getirýärler, soňra olar substratda ýerleşdirilýär. Soňra olar biri-biri bilen birleşip, inçe plýonkalar hökmünde ýerleşdirilýär. PECVD ýagdaýynda, plazmadaky elektronlaryň, energetik bölejikleriň we gaz faza molekulalarynyň çaknyşmagy bu reaktiw himiki toparlary emele getirmek üçin zerur bolan aktiwleşdiriş energiýasyny üpjün edýär.
PECVD-niň artykmaçlyklary, esasan, aşakdaky taraplarda:
(1) Adaty himiki bug çökündisine garanyňda has pes proses temperaturasy, bu esasan adaty gyzdyryş işjeňleşdirmesiniň ýerine reaktiw bölejikleriň plazma aktiwleşdirilmegi bilen baglanyşyklydyr;
(2) Adaty CVD bilen birmeňzeş, plýonka gatlagynyň gowy örtülmegi;
(3) Plenka gatlagynyň düzümini uly derejede özbaşdak dolandyryp bolýar, bu bolsa köp gatlakly plyonkalary almagy aňsatlaşdyrýar;
(4) Plenkanyň dartgynlylygyny ýokary/pes ýygylykly garyşdyrma tehnologiýasy arkaly dolandyryp bolýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 18-nji apreli