Azo etona ny ankamaroan'ny singa simika amin'ny alalan'ny fampifangaroana azy ireo amin'ny vondrona simika, ohatra, ny Si dia mihetsika amin'ny H mba hamorona SiH4, ary ny Al dia miara-miasa amin'ny CH3 mba hamorona Al(CH3). Ao amin'ny dingana CVD mafana, ireo entona etsy ambony ireo dia mandray angovo mafana sasany rehefa mandalo ny substrate mafana ary mamorona vondrona mihetsika, toy ny CH3 sy AL(CH3)2, sns. Avy eo dia miray hina izy ireo mba hamorona vondrona mihetsika, izay avy eo apetraka eo amin'ny substrate. Aorian'izay, miray hina izy ireo ary apetraka ho sarimihetsika manify. Raha ny PECVD, ny fifandonan'ny elektrôna, ny poti-kery ary ny molekiola dingana entona ao amin'ny plasma dia manome ny angovo fampahavitrihana ilaina mba hamoronana ireo vondrona simika mihetsika ireo.
Ireto manaraka ireto no tena tombony azo avy amin'ny PECVD:
(1) Ny mari-pana ambany kokoa amin'ny fizotran'ny asa raha oharina amin'ny fametrahana etona simika mahazatra, izay vokatry ny fampandehanana ny singa mihetsika amin'ny plasma fa tsy ny fampandehanana ny hafanana mahazatra;
(2) Mitovy amin'ny CVD mahazatra, tsara ny fametahana takelaka manodidina ny sosona sarimihetsika;
(3) Azo fehezina tsy misy fepetra ny firafitry ny sosona sarimihetsika, ka mora ny mahazo sarimihetsika misy sosona maro;
(4) Azo fehezina amin'ny alalan'ny teknolojia fampifangaroana matetika avo/ambany ny tsindrin'ny sarimihetsika.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 18 Aprily 2024