O le tele o elemene fa'akemikolo e mafai ona fa'asuavaia e ala i le tu'ufa'atasia o latou ma vaega fa'akemikolo, e pei o le Si e tali atu ma le H e fausia ai le SiH4, ma le Al e tu'ufa'atasia ma le CH3 e fausia ai le Al(CH3). I le fa'agasologa o le CVD fa'avevela, o kasa o lo'o i luga e mitiia ai se aofa'iga patino o le malosi fa'avevela a'o latou ui atu i le substrate vevela ma fausia ai ni vaega tali atu, e pei o le CH3 ma le AL(CH3)2, ma isi. Ona latou tu'ufa'atasia lea ma le tasi ma le isi e fausia ai ni vaega tali atu, ona fa'aputuina lea i luga o le substrate. Mulimuli ane, latou te tu'ufa'atasia ma le tasi ma le isi ma fa'aputuina o ni ata manifinifi. I le tulaga o le PECVD, o le feto'ai o electrons, energy particles ma molecules gas-phase i totonu o le plasma e maua ai le malosi fa'agaoioiga e mana'omia e fausia ai nei vaega fa'akemikolo tali atu.
O fa'amanuiaga o le PECVD e tele lava i vaega nei:
(1) O le vevela maualalo o le faagasologa pe a faatusatusa i le teuina masani o le ausa o vailaau, lea e mafua ona o le faagaoioia o le plasma o vaega tali atu nai lo le faagaoioia masani o le vevela;
(2) E tutusa lava ma le CVD masani, o le ufiufi lelei o le vaega o le ata tifaga;
(3) E mafai ona pulea fa'afuase'i le fa'atulagaina o le vaega o le ata tifaga i se tulaga tele, ma faigofie ai ona maua ni ata tifaga e tele vaega;
(4) E mafai ona pulea le mamafa o le ata tifaga e ala i le tekinolosi fa'afefiloi maualuga/maualalo.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Ape-18-2024