Ìfipamọ́ Afẹ́fẹ́ Kẹ́míkà Tí A Mú Dáradára Nínú Plasma Orí Kejì

Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn èròjà kẹ́míkà ni a lè mú kí wọ́n gbóná nípa sísopọ̀ mọ́ àwọn ẹgbẹ́ kẹ́míkà, fún àpẹẹrẹ, Si máa ń ṣe àgbékalẹ̀ pẹ̀lú H láti ṣẹ̀dá SiH4, àti Al máa ń darapọ̀ mọ́ CH3 láti ṣẹ̀dá Al(CH3). Nínú ìlànà CVD ooru, àwọn gáàsì tí a mẹ́nu kàn lókè yìí máa ń gba agbára ooru kan bí wọ́n ṣe ń kọjá láàárín substrate gbígbóná tí wọ́n sì máa ń ṣẹ̀dá àwọn ẹgbẹ́ oníṣe, bíi CH3 àti AL(CH3)2, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Lẹ́yìn náà, wọ́n máa ń dara pọ̀ mọ́ ara wọn láti ṣẹ̀dá àwọn ẹgbẹ́ oníṣe, èyí tí a óò fi sínú substrate náà. Lẹ́yìn náà, wọ́n máa ń dara pọ̀ mọ́ ara wọn, wọ́n sì máa ń ṣẹ̀dá wọn gẹ́gẹ́ bí fíìmù tín-tín. Nínú ọ̀ràn PECVD, ìkọlù àwọn elekitironi, àwọn èròjà alágbára àti àwọn molecule gáàsì nínú plasma máa ń fúnni ní agbára ìṣiṣẹ́ tí a nílò láti ṣẹ̀dá àwọn ẹgbẹ́ kẹ́míkà oníṣe wọ̀nyí.

Àwọn àǹfààní PECVD wà ní àwọn apá wọ̀nyí:

(1) Iwọn otutu ilana ti o kere ju ti gbigbejade eefin kemikali ibile, eyiti o jẹ pataki nitori imuṣiṣẹ pilasima ti awọn patikulu ti nṣiṣe lọwọ dipo imuṣiṣẹ igbona ibile;

(2) Gẹ́gẹ́ bí CVD ìbílẹ̀, ìfọwọ́sowọ́pọ̀ tó dára fún ìpele fíìmù náà;

(3) A le ṣakoso akojọpọ fẹlẹfẹlẹ fiimu naa ni iwọn nla, eyi ti o mu ki o rọrun lati gba awọn fiimu onipele pupọ;

(4) A le ṣakoso wahala fiimu nipasẹ imọ-ẹrọ idapọ igbohunsafẹfẹ giga tabi kekere.

–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua