Zvinhu zvakawanda zvemakemikari zvinogona kupiswa nekusanganisa nemapoka emakemikari, semuenzaniso Si inosangana neH kuti iumbe SiH4, uye Al inosangana neCH3 kuti iumbe Al(CH3). Mukuita kweCVD yekupisa, magasi ari pamusoro apa anotora simba rekupisa rakati wandei paanopfuura nepakati pesubstrate inopisa ogadzira mapoka ekuita, akadai seCH3 neAL(CH3)2, nezvimwewo. Anobva abatana kuti agadzire mapoka ekuita, ayo anobva aiswa pasubstrate. Zvadaro, anosangana pamwe chete uye anoiswa semafirimu matete. Panyaya yePECVD, kugongana kwemaerekitironi, zvikamu zvine simba uye mamorekuru egasi muplasma kunopa simba rekuita kuti pave nemapoka aya emakemikari anoshanda.
Zvakanakira zvePECVD zviri muzvinhu zvinotevera:
(1) Kudzikira kwekupisa kwemaitiro zvichienzaniswa nekuiswa kwemhepo inodziya nemakemikari, izvo zvinonyanya kukonzerwa nekuiswa kweplasma kwezvikamu zvinopisa panzvimbo pekushandiswa kwekupisa kwetsika;
(2) Zvakafanana neCVD yakajairika, kuputira zvakanaka kwechikamu chefirimu;
(3) Kuumbwa kwechikamu chefirimu kunogona kudzorwa zvisina tsarukano zvakanyanya, zvichiita kuti zvive nyore kuwana mafirimu akawanda;
(4) Kushushikana kwemafirimu kunogona kudzorwa nehunyanzvi hwekusanganisa mafrequency akawanda/akaderera.
–Chinyorwa ichi chakaburitswa namugadziri wemuchina wevacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nguva yekutumira: Kubvumbi-18-2024