பெரும்பாலான வேதியியல் தனிமங்களை வேதியியல் குழுக்களுடன் இணைப்பதன் மூலம் ஆவியாக்க முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, Si ஆனது H உடன் வினைபுரிந்து SiH4-ஐ உருவாக்குகிறது, மற்றும் Al ஆனது CH3 உடன் இணைந்து Al(CH3)2-ஐ உருவாக்குகிறது. வெப்ப CVD செயல்முறையில், மேற்கூறிய வாயுக்கள் வெப்பமூட்டப்பட்ட அடி மூலக்கூறின் வழியாகச் செல்லும்போது ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வெப்ப ஆற்றலை உறிஞ்சி, CH3 மற்றும் AL(CH3)2 போன்ற வினைபுரியும் குழுக்களை உருவாக்குகின்றன. பின்னர் அவை ஒன்றுடன் ஒன்று இணைந்து வினைபுரியும் குழுக்களை உருவாக்குகின்றன, அவை பின்னர் அடி மூலக்கூறின் மீது படியவைக்கப்படுகின்றன. அதைத் தொடர்ந்து, அவை ஒன்றுடன் ஒன்று இணைந்து மெல்லிய படலங்களாகப் படியவைக்கப்படுகின்றன. PECVD-ஐப் பொறுத்தவரை, பிளாஸ்மாவில் உள்ள எலக்ட்ரான்கள், ஆற்றல்மிக்க துகள்கள் மற்றும் வாயு-நிலை மூலக்கூறுகளின் மோதலானது, இந்த வினைபுரியும் வேதியியல் குழுக்களை உருவாக்கத் தேவையான கிளர்வு ஆற்றலை வழங்குகிறது.
PECVD-யின் நன்மைகள் முக்கியமாகப் பின்வரும் அம்சங்களில் அடங்கியுள்ளன:
(1) வழக்கமான இரசாயன ஆவி படிவு முறையை விட குறைந்த செயல்முறை வெப்பநிலை, இது முக்கியமாக வழக்கமான வெப்பமூட்டும் செயல்படுத்தலுக்குப் பதிலாக வினைத்திறன் துகள்களின் பிளாஸ்மா செயல்படுத்தல் காரணமாகும்;
(2) வழக்கமான CVD போலவே, படல அடுக்கின் நல்ல சுற்றும் பூச்சு;
(3) படல அடுக்கின் கலவையை பெருமளவில் தன்னிச்சையாக கட்டுப்படுத்த முடியும், இதனால் பல அடுக்கு படலங்களைப் பெறுவது எளிதாகிறது;
(4) உயர்/குறைந்த அதிர்வெண் கலவை தொழில்நுட்பத்தால் படல அழுத்தத்தைக் கட்டுப்படுத்தலாம்.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: ஏப்ரல்-18-2024