كۆپىنچە خىمىيىلىك ئېلېمېنتلارنى خىمىيىلىك گۇرۇپپىلار بىلەن بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق پارغا ئايلاندۇرغىلى بولىدۇ، مەسىلەن Si H بىلەن رېئاكسىيە قىلىپ SiH4 ھاسىل قىلىدۇ، Al بولسا CH3 بىلەن بىرلىشىپ Al(CH3) ھاسىل قىلىدۇ. ئىسسىقلىق CVD جەريانىدا، يۇقىرىدىكى گازلار قىزىتىلغان ئاساستىن ئۆتكەندە بەلگىلىك مىقداردا ئىسسىقلىق ئېنېرگىيەسىنى سۈمۈرۈۋېلىپ، CH3 ۋە AL(CH3)2 قاتارلىق رېئاكتىپ گۇرۇپپىلارنى ھاسىل قىلىدۇ. ئاندىن ئۇلار بىر-بىرى بىلەن بىرلىشىپ رېئاكتىپ گۇرۇپپىلارنى ھاسىل قىلىدۇ، ئاندىن بۇ گۇرۇپپىلار ئاساسقا چۆكىدۇ. ئاندىن ئۇلار بىر-بىرى بىلەن بىرلىشىپ نېپىز پەردە شەكلىدە چۆكىدۇ. PECVD دا، پلازمادىكى ئېلېكترونلار، ئېنېرگىيە زەررىچىلىرى ۋە گاز باسقۇچلۇق مولېكۇلالارنىڭ سوقۇلۇشى بۇ رېئاكتىپ خىمىيىلىك گۇرۇپپىلارنى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن لازىم بولغان ئاكتىپلىنىش ئېنېرگىيەسىنى تەمىنلەيدۇ.
PECVD نىڭ ئەۋزەللىكلىرى ئاساسلىقى تۆۋەندىكى جەھەتلەردە:
(1) ئادەتتىكى خىمىيىلىك پارغا چۆكتۈرۈشكە سېلىشتۇرغاندا، جەريان تېمپېراتۇرىسى تۆۋەنرەك بولۇپ، بۇ ئاساسلىقى ئادەتتىكى قىزىتىش ئارقىلىق ئاكتىپ زەررىچىلەرنىڭ پلازما ئارقىلىق ئاكتىپلىشىشىدىن كېلىپ چىقىدۇ؛
(2) ئادەتتىكى CVD بىلەن ئوخشاش، پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ ياپراقلىرى ياخشى ئورالغان؛
(3) پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ تەركىبىنى خالىغانچە كونترول قىلغىلى بولىدۇ، بۇ كۆپ قەۋەتلىك پىلاستىنكىلارنى ئېلىشنى ئاسانلاشتۇرىدۇ؛
(4) يۇقىرى/تۆۋەن چاستوتا ئارىلاشتۇرۇش تېخنىكىسى ئارقىلىق پىلىنكىنىڭ بېسىمىنى كونترول قىلغىلى بولىدۇ.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 4-ئاينىڭ 18-كۈنى