ဖုန်စုပ်စက်၏ အစိတ်အပိုင်းများ

ဖုန်စုပ်စက်သည် ပုံမှန်အားဖြင့် အစိတ်အပိုင်းများစွာဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားပြီး၊ တစ်ခုစီတွင် ၎င်း၏ကိုယ်ပိုင်လုပ်ဆောင်ချက်တစ်ခုစီပါရှိပြီး၊ ထိရောက်ပြီး တစ်ပြေးညီဖလင်အစစ်ခံရန်အတွက် ဖျော်ဖြေပွဲများတွင် အလုပ်လုပ်သည်။ အောက်တွင်ဖော်ပြထားသော အဓိကအစိတ်အပိုင်းများနှင့် ၎င်းတို့၏လုပ်ဆောင်ချက်များကို ဖော်ပြချက်ဖြစ်ပါသည်။

အဓိက အစိတ်အပိုင်းများ
ဖုန်စုပ်ခန်း-
လုပ်ဆောင်ချက်- ဖလင်၏ သန့်စင်မှုနှင့် အရည်အသွေးကို သေချာစေမည့် အငွေ့ပျံခြင်း သို့မဟုတ် ကွဲထွက်နေချိန်အတွင်း အပေါ်ယံပစ္စည်းကို လေထုညစ်ညမ်းစေခြင်းမှ ကာကွယ်ရန် ဖိအားနည်းသော သို့မဟုတ် မြင့်မားသော လေဟာနယ် ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံ- အများအားဖြင့် စွမ်းအားမြင့်သော၊ သံမဏိ သို့မဟုတ် အလူမီနီယမ်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် အတွင်းပိုင်းဒီဇိုင်းသည် လေစီးဆင်းမှု ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် အလွှာနေရာချထားမှု လွယ်ကူခြင်းတို့ကို ထည့်သွင်းစဉ်းစားသည်။
ဖုန်စုပ်ပန့်စနစ်-
လုပ်ဆောင်ချက်- လိုအပ်သော လေဟာနယ်အဆင့်ကိုရရှိရန် လေဟာနယ်ခန်းအတွင်းမှ ဓာတ်ငွေ့များကို စုပ်ထုတ်ရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
အမျိုးအစားများ- စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပန့်များ (ဥပမာ- rotary vane pumps)၊ turbomolecular pumps၊ diffusion pumps နှင့် ion pumps များ ပါဝင်သည်။
အငွေ့ပျံခြင်းအရင်းအမြစ် သို့မဟုတ် sputtering အရင်းအမြစ်-
လုပ်ဆောင်ချက်- လေဟာနယ်တစ်ခုတွင် အခိုးအငွေ့ သို့မဟုတ် ပလာစမာတစ်ခုဖြစ်ပေါ်လာစေရန် အပေါ်ယံပစ္စည်းကို အပူပေးပြီး အငွေ့ပျံစေသည်။
အမျိုးအစားများ- ခံနိုင်ရည်ရှိအပူပေးသည့်ရင်းမြစ်၊ အီလက်ထရွန်အလင်းတန်းများ ရေငွေ့ပျံခြင်းအရင်းအမြစ်၊ magnetron sputtering အရင်းအမြစ်နှင့် လေဆာရေငွေ့ပျံမှုအရင်းအမြစ် စသည်တို့ အပါအဝင်။
အလွှာကိုင်ဆောင်သူနှင့် လှည့်သည့် ယန္တရား-
လုပ်ဆောင်ချက်- အလွှာကို ကိုင်ထားပြီး လည်ပတ်မှု သို့မဟုတ် တုန်ခါမှုဖြင့် အလွှာ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အပေါ်ယံပစ္စည်းကို တစ်ပြေးညီ ကွဲထွက်စေရန် သေချာစေသည်။
ဆောက်လုပ်ရေး- ပုံမှန်အားဖြင့် ပုံသဏ္ဍာန်နှင့် အရွယ်အစား မတူညီသော အလွှာများကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေရန်အတွက် ချိန်ညှိနိုင်သော ကုပ်များ နှင့် လှည့်ခြင်း/တုန်လှုပ်ခြင်း ယန္တရားများ ပါဝင်သည်။
ဓာတ်အားထောက်ပံ့မှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုစနစ်-
လုပ်ဆောင်ချက်- ရေငွေ့ပျံခြင်းအရင်းအမြစ်၊ sputtering ရင်းမြစ်နှင့် အခြားစက်ပစ္စည်းများသို့ ပါဝါပံ့ပိုးပေးပြီး အပူချိန်၊ လေဟာနယ်နှင့် အချိန်ကဲ့သို့သော အလုံးစုံအပေါ်ယံပိုင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏ ဘောင်များကို ထိန်းချုပ်သည်။
အစိတ်အပိုင်းများ- ပါဝါထောက်ပံ့မှု၊ ထိန်းချုပ်အကန့်များ၊ ကွန်ပျူတာဖြင့် ထိန်းချုပ်မှုစနစ်များနှင့် စောင့်ကြည့်အာရုံခံကိရိယာများ ပါဝင်သည်။
Gas Supply System ( sputter coating ပစ္စည်းများအတွက် )
လုပ်ဆောင်ချက်- ပလာစမာကို ထိန်းသိမ်းရန် သို့မဟုတ် ပါးလွှာသော ဖလင်တစ်ခုထုတ်လုပ်ရန် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုတွင် ပါဝင်ရန် (ဥပမာ၊ အာဂွန်) သို့မဟုတ် ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များ (ဥပမာ၊ အောက်ဆီဂျင်၊ နိုက်ထရိုဂျင်) ကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။
အစိတ်အပိုင်းများ- ဓာတ်ငွေ့ဆလင်ဒါများ၊ စီးဆင်းမှု ထိန်းချုပ်ကိရိယာများနှင့် ဓာတ်ငွေ့ပေးပို့သည့်ပိုက်များ ပါဝင်သည်။
အအေးခံစနစ်-
လုပ်ဆောင်ချက်- အပူလွန်ကဲခြင်းမှ ကာကွယ်ရန် အငွေ့ပျံခြင်းအရင်းအမြစ်၊ sputtering source နှင့် vacuum chamber တို့ကို အေးမြစေသည်။
အမျိုးအစားများ- ရေအအေးပေးစနစ်နှင့် လေအေးပေးစနစ် စသည်တို့ပါဝင်သည်။
စောင့်ကြည့်ခြင်းနှင့် ထောက်လှမ်းခြင်းစနစ်-
လုပ်ဆောင်ချက်- ဖလင်အထူ၊ သိုလှောင်မှုနှုန်း၊ လေဟာနယ်နှင့် အပူချိန်တို့ကဲ့သို့ အပေါ်ယံမျက်နှာပြင်ရှိ သော့ပါရာမီတာများကို အချိန်နှင့်တပြေးညီ စောင့်ကြည့်စစ်ဆေးခြင်း။
အမျိုးအစားများ- quartz crystal microbalance၊ optical thickness monitor နှင့် residual gas analyzer စသည်တို့ အပါအဝင်။
အကာအကွယ်ပစ္စည်းများ-
လုပ်ဆောင်ချက်- မြင့်မားသော အပူချိန်၊ ဗို့အားများ သို့မဟုတ် လေဟာနယ် ပတ်ဝန်းကျင်ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အန္တရာယ်များမှ အော်ပရေတာများနှင့် စက်ပစ္စည်းများ၏ ဘေးကင်းမှုကို သေချာစေသည်။
အစိတ်အပိုင်းများ- အစောင့်အကြပ်များ၊ အရေးပေါ်ရပ်တန့်ခလုတ်များနှင့် ဘေးကင်းရေးဆိုင်ရာ သော့ခလောက်များ စသည်တို့ ပါဝင်ပါသည်။
အကျဉ်းချုပ်။
ဖုန်စုပ် coating ကိရိယာသည် အရည်အသွေးမြင့် ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များကို ဤအစိတ်အပိုင်းများ၏ ပေါင်းစပ်လုပ်ဆောင်မှုမှတစ်ဆင့် အပ်နှံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို သဘောပေါက်သည်။ ဤစက်များသည် optical၊ electronic၊

- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua