ʻO ka maʻamau, ua hana ʻia nā lako hana uhi hakahaka me kekahi mau ʻāpana koʻikoʻi, kēlā me kēia me kāna hana ponoʻī, e hana pū ana e hoʻokō i ka waiho ʻana o ka ʻili kiʻiʻoniʻoni kūpono a like. Aia ma lalo kahi wehewehe o nā ʻāpana nui a me kā lākou mau hana:
Nā ʻĀpana Nui
Keʻena hoʻomaʻemaʻe:
Hana: Hāʻawi i kahi ʻano haʻahaʻa haʻahaʻa a kiʻekiʻe paha e pale ai i ka mea uhi mai ka pane ʻana me nā haumia ea i ka wā e mahu ai a i ʻole ka sputtering, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka maʻemaʻe a me ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni.
ʻAno: Hana ʻia me ke kila kila kiʻekiʻe a i ʻole ka alumini, noʻonoʻo ka hoʻolālā kūloko i ka hoʻolaha ʻana o ke ea a me ka maʻalahi o ke kau ʻana o ka substrate.
ʻŌnaehana pamu hoʻoheheʻe:
Hana: Hoʻohana ʻia e pamu i waho i ke kinoea i loko o ke keʻena hakahaka e hoʻokō ai i ka pae hakahaka i makemake ʻia.
Nā ʻAno: Me nā pamu mechanical (e like me nā pamu rotary vane), nā pamu turbomolecular, nā pamu diffusion a me nā pamu ion.
Kumu mahu a kumu pīpī paha:
Hana: hoʻomehana a hoʻomaloʻo i ka mea uhi e hana i ka mahu a i ʻole plasma i loko o kahi hakahaka.
Nā ʻAno: me ke kumu hoʻomehana kūpaʻa, ke kumu hoʻoheheʻe kukuna uila, ke kumu hoʻoheheʻe magnetron a me ke kumu hoʻoheheʻe laser, a pēlā aku.
Mea paʻa substrate a me ka mīkini wili:
Hana: Hoʻopaʻa i ka substrate a hōʻoia i ka waiho like ʻana o ka mea uhi ma luna o ka ʻili o ka substrate ma o ka wili a i ʻole ka oscillation.
KŪLANA: ʻO ka maʻamau, aia nā ʻūmiʻi hiki ke hoʻololi ʻia a me nā ʻano hana wili/oscillating e hoʻokipa i nā substrates o nā ʻano a me nā nui like ʻole.
ʻŌnaehana lako mana a me ka mana:
Hana: Hāʻawi i ka mana i ke kumu mahu, ke kumu sputtering a me nā lako ʻē aʻe, a kāohi i nā palena o ke kaʻina hana uhi holoʻokoʻa e like me ka mahana, ka vacuum a me ka manawa.
Nā ʻĀpana: Hoʻokomo pū ʻia nā lako mana, nā panela hoʻokele, nā ʻōnaehana hoʻokele kamepiula, a me nā mea ʻike nānā.
ʻŌnaehana Hoʻolako Kinoea (no nā lako uhi sputter):
Hana: Hoʻolako i nā kinoea inert (e like me ke argon) a i ʻole nā kinoea reactive (e like me ka oxygen, nitrogen) e mālama i kahi plasma a i ʻole e komo i kahi hopena kemika e hana i kahi ʻili lahilahi kikoʻī.
Nā ʻĀpana: Hoʻokomo pū ʻia nā pahu kinoea, nā mea hoʻokele kahe, a me nā paipu hoʻouna kinoea.
ʻŌnaehana Hoʻoluʻu:
Hana: hoʻomaʻalili i ke kumu mahu, ke kumu pīpī a me ke keʻena vacuum e pale aku i ka wela nui.
Nā ʻAno: e komo pū me nā ʻōnaehana hoʻoluʻu wai a me nā ʻōnaehana hoʻoluʻu ea, a pēlā aku.
ʻŌnaehana nānā a me ka ʻike ʻana:
Hana: Nānā manawa maoli i nā palena koʻikoʻi i ke kaʻina hana uhi, e like me ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni, ka helu waiho ʻana, ka hakahaka a me ka mahana, e hōʻoia i ka maikaʻi o ka uhi ʻana.
Nā ʻAno: me ka quartz crystal microbalance, ka optical thickness monitor a me ke koena gas analyzer, etc.
Nā mea pale:
Hana: Hōʻoia i ka palekana o nā mea hoʻohana a me nā lako mai nā pōʻino i hoʻokumu ʻia e nā mahana kiʻekiʻe, nā voltages kiʻekiʻe a i ʻole nā wahi vacuum.
Nā ʻĀpana: Hoʻokomo pū ʻia nā kiaʻi, nā pihi hoʻōki ulia pōpilikia a me nā laka palekana, a pēlā aku.
Hōʻuluʻulu manaʻo.
Hoʻokō nā lako hana uhi hakahaka i ke kaʻina hana o ka waiho ʻana i nā ʻili lahilahi kiʻekiʻe ma o ka hana synergistic o kēia mau ʻāpana. He kuleana koʻikoʻi kēia mau mīkini i ka hoʻomākaukau ʻana i nā ʻili lahilahi optical, uila, hoʻonaninani a me ka hana.
–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Iulai-23-2024