Midziyo yekuputira vacuum inowanzova nezvinhu zvakakosha zvakasiyana-siyana, chimwe nechimwe chiine basa racho, zvinoshanda pamwe chete kuti zvive nefirimu rakafanana uye rinoshanda zvakanaka. Pazasi pane tsananguro yezvikamu zvikuru nemabasa azvo:
Zvikamu Zvikuru
Kamuri rekubvisa tsvina:
Basa: Inopa nzvimbo ine kumanikidzwa kwakaderera kana kuti ine vacuum yakawanda kudzivirira kuti zvinhu zvekufukidza zvisapindirane netsvina inobuda mumhepo panguva yekubuda kwemvura kana kutsvedza, zvichiita kuti firimu rive rakachena uye rakanaka.
Maumbirwo: Kazhinji inogadzirwa nesimbi yakasimba, isina ngura kana aruminiyamu, dhizaini yemukati inotarisa kupararira kwemhepo uye nyore kwekuisa substrate.
Sisitimu yepombi yekubvisa vharuvhu:
Basa: Rinoshandiswa kupomba gasi mukati memukamuri wevacuum kuti riwane vhoriyamu inodiwa.
Mhando: Kusanganisira mapombi emakanika (semuenzaniso mapombi erotary vane), mapombi eturbomolecular, mapombi ekuparadzira uye mapombi eion.
Kunobva kubuda kwemvura kana kuti kunobva kutsvedza kwemvura:
Basa: rinopisa uye rinoita kuti chifukidziro chive mweya kana kuti plasma mu vacuum.
Mhando: dzinosanganisira sosi yekupisa inodzivirirwa, sosi yekupisa yedanda remaerekitironi, sosi yekupisa yemagnetron uye sosi yekupisa yelaser, nezvimwewo.
Chibatiso chepasi pevhu uye mashandiro ekutenderera:
Basa: Rinobata substrate uye rinoona kuti zvinhu zvekufukidza zvinoiswa zvakaenzana pamusoro pe substrate nekutenderera kana kutenderera.
KUVAKA: Kazhinji zvinosanganisira maclamp anogadziriswa uye nzira dzinotenderera/dzinotenderedza kuti dzigamuchire substrates dzemaumbirwo akasiyana uye saizi.
Simba remagetsi uye sisitimu yekudzora:
Basa: Rinopa simba kunobva mvura, rinoburitsa mvura nezvimwe zvishandiso, uye rinodzora parameters yemaitiro ese ekuputira akadai sekupisa, vacuum nenguva.
Zvikamu: Zvinosanganisira magetsi, ma control panels, makombiyuta anotonga, uye masensa ekutarisa.
Sisitimu Yekupa Gasi (yemidziyo yekuputira sputter):
Basa: Inopa magasi asina simba (semuenzaniso, argon) kana magasi anochinja-chinja (semuenzaniso, okisijeni, nitrogen) kuti achengetedze plasma kana kuti atore chikamu mukuita kwemakemikari kuti agadzire firimu rakatetepa.
Zvikamu: Zvinosanganisira masirinda egasi, zvinhu zvinodzora kuyerera kwemvura, uye mapaipi ekutumira gasi.
Sisitimu Yekutonhodza:
Basa: inotonhodza sosi yemvura inobuda, sosi inobuda uye kamuri re vacuum kudzivirira kupisa zvakanyanya.
Mhando: dzinosanganisira masisitimu ekutonhodza mvura uye masisitimu ekutonhodza mweya, nezvimwewo.
Sisitimu yekutarisa nekuona:
Basa: Kutarisa panguva chaiyo kwezviyero zvakakosha mukuputira, zvakaita sehukobvu hwefirimu, mwero wekuisa, vacuum uye tembiricha, kuve nechokwadi chemhando yekuputira.
Mhando: dzinosanganisira quartz crystal microbalance, optical thickness monitor uye residual gas analyzer, nezvimwewo.
Zvishandiso zvekudzivirira:
Basa: Inovimbisa kuchengetedzeka kwevashandisi nemidziyo kubva kunjodzi dzinokonzerwa nekupisa kwakanyanya, mavoltage akakwira kana nzvimbo dzevacuum.
Zvikamu: Zvinosanganisira magadhi, mabhatani ekumira emergency uye makiyi ekuchengetedza, nezvimwewo.
Pfupikisa.
Midziyo yekuputira vacuum inoita kuti pave nemafirimu matete emhando yepamusoro kuburikidza nekushanda pamwe chete kwezvinhu izvi. Michina iyi inoita basa rakakosha mukugadzirira mafirimu matete ekuona, emagetsi, ekushongedza uye anoshanda.
–Chinyorwa ichi chakaburitswa namugadziri wemuchina wevacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nguva yekutumira: Chikunguru-23-2024