Peralatan salutan vakum biasanya terdiri daripada beberapa komponen utama, setiap satunya dengan fungsi khususnya yang berfungsi bersama untuk mencapai pemendapan filem yang cekap dan seragam. Berikut ialah penerangan tentang komponen utama dan fungsinya:
Komponen Utama
Ruang vakum:
Fungsi: Menyediakan persekitaran tekanan rendah atau vakum tinggi untuk mengelakkan bahan salutan daripada bertindak balas dengan bendasing bawaan udara semasa penyejatan atau percikan, memastikan ketulenan dan kualiti filem.
Struktur: Biasanya diperbuat daripada keluli tahan karat atau aluminium berkekuatan tinggi, reka bentuk dalamannya mengambil kira pengagihan aliran udara dan kemudahan penempatan substrat.
Sistem pam vakum:
Fungsi: Digunakan untuk mengepam keluar gas di dalam ruang vakum bagi mencapai tahap vakum yang diperlukan.
Jenis: Termasuk pam mekanikal (cth. pam bilah berputar), pam turbomolekul, pam resapan dan pam ion.
Sumber penyejatan atau sumber percikan:
Fungsi: memanaskan dan menyejat bahan salutan untuk membentuk wap atau plasma dalam vakum.
Jenis: termasuk sumber pemanasan rintangan, sumber penyejatan pancaran elektron, sumber percikan magnetron dan sumber penyejatan laser, dsb.
Pemegang substrat dan mekanisme berputar:
Fungsi: Memegang substrat dan memastikan pemendapan bahan salutan yang seragam pada permukaan substrat melalui putaran atau ayunan.
PEMBINAAN: Biasanya termasuk pengapit boleh laras dan mekanisme berputar/berayun untuk menampung substrat dalam pelbagai bentuk dan saiz.
Bekalan kuasa dan sistem kawalan:
Fungsi: Membekalkan kuasa kepada sumber penyejatan, sumber percikan dan peralatan lain, serta mengawal parameter keseluruhan proses salutan seperti suhu, vakum dan masa.
Komponen: Termasuk bekalan kuasa, panel kawalan, sistem kawalan berkomputer dan sensor pemantauan.
Sistem Bekalan Gas (untuk peralatan salutan percikan):
Fungsi: Membekalkan gas lengai (contohnya, argon) atau gas reaktif (contohnya, oksigen, nitrogen) untuk mengekalkan plasma atau untuk mengambil bahagian dalam tindak balas kimia bagi menghasilkan filem nipis tertentu.
Komponen: Termasuk silinder gas, pengawal aliran dan paip penghantaran gas.
Sistem Penyejukan:
Fungsi: menyejukkan sumber penyejatan, sumber percikan dan ruang vakum untuk mengelakkan terlalu panas.
Jenis: termasuk sistem penyejukan air dan sistem penyejukan udara, dsb.
Sistem pemantauan dan pengesanan:
Fungsi: Pemantauan masa nyata parameter utama dalam proses salutan, seperti ketebalan filem, kadar pemendapan, vakum dan suhu, untuk memastikan kualiti salutan.
Jenis: termasuk mikroimbangan kristal kuarza, monitor ketebalan optik dan penganalisis gas sisa, dsb.
Peranti pelindung:
Fungsi: Memastikan keselamatan pengendali dan peralatan daripada bahaya yang disebabkan oleh suhu tinggi, voltan tinggi atau persekitaran vakum.
Komponen: Termasuk pengawal, butang berhenti kecemasan dan kunci keselamatan, dsb.
Ringkaskan.
Peralatan salutan vakum merealisasikan proses pengendapan filem nipis berkualiti tinggi melalui kerja sinergi komponen-komponen ini. Mesin-mesin ini memainkan peranan penting dalam penyediaan filem nipis optik, elektronik, hiasan dan berfungsi.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 23 Julai 2024