Peralatan palapis vakum biasana diwangun ku sababaraha komponén konci, masing-masing kalayan fungsi khususna, anu dianggo babarengan pikeun ngahontal déposisi pilem anu efisien sareng seragam. Di handap ieu pedaran komponén utama sareng fungsina:
Komponén Utama
Kamar vakum:
Fungsi: Nyayogikeun lingkungan tekanan rendah atanapi vakum tinggi pikeun nyegah bahan palapis réaksi sareng pangotor anu aya di udara nalika penguapan atanapi percikan, mastikeun kamurnian sareng kualitas pilem.
Struktur: Biasana didamel tina baja tahan karat atanapi aluminium anu kakuatanana luhur, desain internalna merhatikeun distribusi aliran hawa sareng gampangna panempatan substrat.
Sistem pompa vakum:
Fungsi: Dianggo pikeun ngompa kaluar gas di jero rohangan vakum pikeun ngahontal tingkat vakum anu diperyogikeun.
Jenis-jenis: Kalebet pompa mékanis (sapertos pompa baling-baling rotary), pompa turbomolekul, pompa difusi sareng pompa ion.
Sumber penguapan atanapi sumber semburan:
Fungsi: manaskeun sareng nguapkeun bahan palapis pikeun ngabentuk uap atanapi plasma dina rohangan hampa.
Jenis-jenis: kalebet sumber pemanasan résistansi, sumber penguapan sinar éléktron, sumber sputtering magnetron sareng sumber penguapan laser, jsb.
Panyekel substrat sareng mékanisme puteran:
Fungsi: Nahan substrat sareng mastikeun déposisi bahan palapis anu rata dina permukaan substrat ku cara rotasi atanapi osilasi.
KONSTRUKSI: Biasana ngawengku klem anu tiasa diatur sareng mékanisme anu muter/osilasi pikeun nampung substrat tina bentuk sareng ukuran anu béda-béda.
Catu daya sareng sistem kontrol:
Fungsi: Nyayogikeun daya ka sumber penguapan, sumber sputtering sareng peralatan sanésna, sareng ngontrol parameter tina prosés palapis sacara umum sapertos suhu, vakum sareng waktos.
Komponen: Ngawengku catu daya, panel kontrol, sistem kontrol komputerisasi, sareng sénsor monitoring.
Sistem Pasokan Gas (pikeun alat palapis sputter):
Fungsi: Nyayogikeun gas inert (misalna, argon) atanapi gas réaktif (misalna, oksigén, nitrogén) pikeun ngajaga plasma atanapi pikeun ilubiung dina réaksi kimia pikeun ngahasilkeun pilem ipis anu khusus.
Komponen: Ngawengku tabung gas, pangontrol aliran, sareng pipa pangiriman gas.
Sistem Pendingin:
Fungsi: niiskeun sumber penguapan, sumber semburan, sareng ruang vakum pikeun nyegah panas teuing.
Jenis-jenis: kalebet sistem pendingin cai sareng sistem pendingin hawa, jsb.
Sistem pangawasan sareng deteksi:
Fungsi: Ngawaskeun parameter konci dina prosés palapis sacara real-time, sapertos ketebalan pilem, laju déposisi, vakum sareng suhu, pikeun mastikeun kualitas palapis.
Jenis-jenis: kalebet mikrobalance kristal kuarsa, monitor ketebalan optik sareng penganalisis gas sésa, jsb.
Alat-alat pelindung:
Fungsi: Ngajamin kasalametan operator sareng peralatan tina bahaya anu disababkeun ku suhu anu luhur, tegangan anu luhur atanapi lingkungan vakum.
Komponen: Ngawengku pelindung, tombol eureun darurat sareng konci kaamanan, jsb.
Ringkeskeun.
Alat palapis vakum ngawujudkeun prosés neundeun pilem ipis kualitas luhur ngaliwatan karya sinergis komponén-komponén ieu. Mesin-mesin ieu maénkeun peran penting dina nyiapkeun pilem ipis optik, éléktronik, dekoratif sareng fungsional.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 23-Jul-2024