Awọn paati ti ẹrọ ti a fi bo igbale

Àwọn ohun èlò ìbòrí ìfọ́mọ́ra sábà máa ń ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn èròjà pàtàkì, ọ̀kọ̀ọ̀kan pẹ̀lú iṣẹ́ tirẹ̀, tí ó ń ṣiṣẹ́ papọ̀ láti ṣe àgbékalẹ̀ fíìmù tó gbéṣẹ́, tí ó sì dọ́gba. Àpèjúwe àwọn èròjà pàtàkì àti iṣẹ́ wọn nìyí:

Àwọn Ohun Pàtàkì
Yàrá afẹ́fẹ́:
Iṣẹ́: Ó ní àyíká tí ó ní ìfúnpá díẹ̀ tàbí afẹ́fẹ́ gíga láti dènà ohun èlò ìbòrí láti má ṣe hùwà padà pẹ̀lú àwọn ohun ìdọ̀tí afẹ́fẹ́ nígbà tí a bá ń tú jáde tàbí tí a ń tú jáde, èyí sì ń rí i dájú pé fíìmù náà mọ́ tónítóní àti dídára.
Ìṣètò: A sábà máa ń fi irin alagbara gíga, irin alagbara tabi aluminiomu ṣe é, a sì máa ń gbé ìfọ́ afẹ́fẹ́ kalẹ̀ àti bí a ṣe lè fi ohun èlò tí ó wà nínú rẹ̀ sí.
Ètò fifa afẹfẹ:
Iṣẹ́: A lo lati fa gaasi jade ninu yara igbale lati de ipele igbale ti a nilo.
Àwọn Irú: Pẹ̀lú àwọn ẹ̀rọ ìfọ́nká (fún àpẹẹrẹ àwọn ẹ̀rọ ìfọ́nká rotary vane), àwọn ẹ̀rọ ìfọ́nká turbomolecular, àwọn ẹ̀rọ ìfọ́nká diffusion àti àwọn ẹ̀rọ ìfọ́nká ion.
Orisun ìtújáde tàbí orísun ìtújáde:
Iṣẹ́: ó ń gbóná àti tú omi kúrò nínú ohun èlò ìbòrí láti ṣẹ̀dá èéfín tàbí plasma nínú afẹ́fẹ́.
Àwọn oríṣiríṣi: pẹ̀lú orísun ìgbóná resistance, orísun ìgbóná elekitironi, orísun sputtering magnetron àti orísun ìgbóná lesa, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ohun tí ó mú ìpìlẹ̀ àti ẹ̀rọ yíyípo:
Iṣẹ́: Ó di ohun èlò ìbòrí náà mú, ó sì ń rí i dájú pé ohun èlò ìbòrí náà dúró ní ìpele kan náà lórí ojú ohun èlò ìbòrí náà nípa yíyípo tàbí yíyípo.
ÌKỌ́LẸ̀: Ó sábà máa ń ní àwọn ìdè tí a lè ṣàtúnṣe àti àwọn ọ̀nà tí ń yípo/yíyípo láti gba àwọn ohun èlò tí ó ní onírúurú ìrísí àti ìwọ̀n.
Eto ipese agbara ati iṣakoso:
Iṣẹ́: Ó ń pèsè agbára sí orísun ìtújáde, orísun ìtújáde àti àwọn ohun èlò míràn, ó sì ń ṣàkóso àwọn pàrámítà ti ilana ìbòrí gbogbogbò bí iwọ̀n otútù, ìgbàfẹ́ àti àkókò.
Àwọn Ẹ̀yà Ara: Pẹ̀lú àwọn ohun èlò agbára, àwọn pánẹ́lì ìṣàkóso, àwọn ètò ìṣàkóso kọ̀ǹpútà, àti àwọn sensọ̀ àbójútó.
Ètò Ìpèsè Gáàsì (fún àwọn ohun èlò ìbòrí sputter):
Iṣẹ́: Ó ń pèsè àwọn gáàsì aláìlágbára (fún àpẹẹrẹ, argon) tàbí àwọn gáàsì oníṣe (fún àpẹẹrẹ, atẹ́gùn, nitrogen) láti máa tọ́jú plasma tàbí láti kópa nínú ìṣe kẹ́míkà láti mú fíìmù tín-tín kan pàtó jáde.
Àwọn èròjà: Pẹ̀lú àwọn sílíńdà gaasi, àwọn olùdarí ìṣàn omi, àti àwọn páìpù ìfijiṣẹ́ gaasi.
Ètò Ìtutù:
Iṣẹ́: ó ń mú kí orísun ìtútù, orísun ìtútù àti yàrá ìgbàlejò tutù láti dènà ìgbóná ara.
Àwọn irú: pẹ̀lú àwọn ètò ìtútù omi àti àwọn ètò ìtútù afẹ́fẹ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Eto abojuto ati wiwa:
Iṣẹ́: Àkókò gidi ni a ń ṣe àyẹ̀wò àwọn pàrámítà pàtàkì nínú ilana ìbòrí, bí ìwọ̀n fíìmù, ìwọ̀n ìdókòwò, ìgbàfẹ́ àti iwọ̀n otútù, láti rí i dájú pé a bo dídára.
Awọn oriṣi: pẹlu kuotisi kristali microbalance, atẹle sisanra opitika ati itupalẹ gaasi iyokù, ati bẹbẹ lọ.
Awọn ẹrọ aabo:
Iṣẹ́: Ó ń rí i dájú pé àwọn olùṣiṣẹ́ àti ẹ̀rọ wà ní ààbò láti inú ewu tí ó lè ṣẹlẹ̀ láti inú àwọn igbóná gíga, àwọn folti gíga tàbí àwọn àyíká afẹ́fẹ́.
Àwọn ohun èlò: Pẹ̀lú àwọn olùṣọ́, àwọn bọ́tìnì ìdádúró pajawiri àti àwọn ìdènà ààbò, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ṣe àkópọ̀.
Àwọn ohun èlò ìbòrí ìfọ́mọ́ra ń ṣe àgbékalẹ̀ ìlànà fífi àwọn fíìmù tín-tín tó ga jùlọ síta nípasẹ̀ iṣẹ́ àpapọ̀ àwọn èròjà wọ̀nyí. Àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí ń kó ipa pàtàkì nínú pípèsè àwọn fíìmù tín-tín tó ń ṣiṣẹ́, ẹ̀rọ itanna, ohun ọ̀ṣọ́ àti àwọn fíìmù tín-tín tó ń ṣiṣẹ́.

–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua