Таҷҳизоти рӯйпӯшкунии вакуумӣ одатан аз якчанд ҷузъҳои калидӣ иборат аст, ки ҳар кадоме дорои вазифаи хоси худ мебошанд ва барои ноил шудан ба таҳшиншавии самаранок ва якхелаи плёнка якҷоя кор мекунанд. Дар зер тавсифи ҷузъҳои асосӣ ва вазифаҳои онҳо оварда шудааст:
Қисмҳои асосӣ
Камераи вакуумӣ:
Вазифа: Муҳити фишори паст ё вакуумии баландро фароҳам меорад, то маводи рӯйпӯшро аз реаксияи ифлосҳои ҳавоӣ ҳангоми бухоршавӣ ё пошидани он пешгирӣ кунад ва покӣ ва сифати плёнкаро таъмин намояд.
Сохтор: Одатан аз пӯлоди зангногир ё алюминийи баландқувват сохта мешавад, тарҳи дохилӣ тақсимоти ҷараёни ҳаво ва осонии ҷойгиркунии зеризаминиро ба назар мегирад.
Системаи насоси вакуумӣ:
Вазифа: Барои берун кардани газ дар дохили камераи вакуумӣ барои ноил шудан ба сатҳи зарурии вакуум истифода мешавад.
Намудҳо: Аз ҷумла насосҳои механикӣ (масалан, насосҳои гардишкунандаи вентилятсия), насосҳои турбомолекулавӣ, насосҳои диффузиявӣ ва насосҳои ионӣ.
Манбаи бухоршавӣ ё манбаи пошидани об:
Вазифа: маводи рӯйпӯшро гарм ва бухор карда, дар вакуум буғ ё плазмаро ташкил медиҳад.
Намудҳо: аз ҷумла манбаи гармидиҳии муқовимат, манбаи бухоршавии чӯби электронӣ, манбаи пошидани магнетрон ва манбаи бухоршавии лазерӣ ва ғайра
Дорандаи субстрат ва механизми гардишкунанда:
Вазифа: Табақаро нигоҳ медорад ва бо роҳи гардиш ё ларзиш ҷойгиршавии якхелаи маводи рӯйпӯшро дар сатҳи он таъмин мекунад.
СОХТМОН: Одатан, қулфҳои танзимшаванда ва механизмҳои гардишкунанда/ларзишкунандаро барои ҷойгир кардани субстратҳои шакл ва андозаҳои гуногун дар бар мегирад.
Системаи таъминоти барқ ва идоракунӣ:
Вазифа: Ба манбаи бухоршавӣ, манбаи пошидан ва дигар таҷҳизот нерӯи барқ медиҳад ва параметрҳои умумии раванди пӯшишро, ба монанди ҳарорат, вакуум ва вақт, назорат мекунад.
Ҷузъҳо: Манбаъҳои барқ, панелҳои идоракунӣ, системаҳои идоракунии компютерӣ ва сенсорҳои назоратӣ.
Системаи таъминоти газ (барои таҷҳизоти рӯйпӯшкунии пошиданӣ):
Вазифа: Газҳои инертӣ (масалан, аргон) ё газҳои реактивӣ (масалан, оксиген, нитроген)-ро барои нигоҳ доштани плазма ё иштирок дар реаксияи кимиёвӣ барои тавлиди як плёнкаи тунуки мушаххас таъмин мекунад.
Қисмҳо: Баллонҳои газ, контроллерҳои ҷараён ва қубурҳои интиқоли газро дар бар мегиранд.
Системаи хунуккунӣ:
Вазифа: манбаи бухоршавӣ, манбаи пошидан ва камераи вакуумро хунук мекунад, то аз гармии аз ҳад зиёд пешгирӣ кунад.
Намудҳо: системаҳои хунуккунии об ва системаҳои хунуккунии ҳаво ва ғайраро дар бар мегиранд.
Системаи мониторинг ва ошкоркунӣ:
Вазифа: Мониторинги вақти воқеии параметрҳои калидӣ дар раванди пӯшиш, ба монанди ғафсии плёнка, суръати таҳшиншавӣ, вакуум ва ҳарорат, барои таъмини сифати пӯшиш.
Намудҳо: аз ҷумла микробаланси кристаллии кварсӣ, монитори ғафсии оптикӣ ва таҳлилгари гази боқимонда ва ғайра.
Дастгоҳҳои муҳофизатӣ:
Вазифа: Бехатарии операторҳо ва таҷҳизотро аз хатарҳое, ки аз ҳарорати баланд, шиддати баланд ё муҳитҳои вакуумӣ ба вуҷуд меоянд, таъмин мекунад.
Қисмҳо: Дар бар мегирад муҳофизон, тугмаҳои қатъи фаврӣ ва қулфҳои бехатарӣ ва ғайра.
Хулоса кунед.
Таҷҳизоти рӯйпӯшкунии вакуумӣ раванди гузоштани плёнкаҳои тунуки баландсифатро тавассути кори синергетикии ин ҷузъҳо амалӣ мекунад. Ин мошинҳо дар тайёр кардани плёнкаҳои тунуки оптикӣ, электронӣ, ороишӣ ва функсионалӣ нақши муҳим мебозанд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 23 июли соли 2024