Thiết bị phủ chân không thường bao gồm một số thành phần chính, mỗi thành phần có chức năng riêng biệt, hoạt động phối hợp với nhau để đạt được hiệu quả phủ màng đồng đều. Dưới đây là mô tả về các thành phần chính và chức năng của chúng:
Các thành phần chính
Buồng chân không:
Chức năng: Cung cấp môi trường áp suất thấp hoặc chân không cao để ngăn vật liệu phủ phản ứng với các tạp chất trong không khí trong quá trình bay hơi hoặc phun phủ, đảm bảo độ tinh khiết và chất lượng của màng phim.
Cấu trúc: Thường được làm bằng thép không gỉ hoặc nhôm cường độ cao, thiết kế bên trong tính đến sự phân bổ luồng không khí và sự dễ dàng trong việc đặt chất nền.
Hệ thống bơm chân không:
Chức năng: Dùng để bơm khí ra khỏi buồng chân không nhằm đạt được mức độ chân không cần thiết.
Các loại: Bao gồm bơm cơ khí (ví dụ: bơm cánh quay), bơm turbomolecular, bơm khuếch tán và bơm ion.
Nguồn bay hơi hoặc nguồn bắn phá:
Chức năng: Làm nóng và làm bay hơi vật liệu phủ để tạo thành hơi hoặc plasma trong môi trường chân không.
Các loại: bao gồm nguồn gia nhiệt điện trở, nguồn bay hơi chùm electron, nguồn lắng đọng phún xạ magnetron và nguồn bay hơi laser, v.v.
Giá đỡ đế và cơ cấu xoay:
Chức năng: Giữ cố định chất nền và đảm bảo sự phân bố đồng đều vật liệu phủ lên bề mặt chất nền bằng cách xoay hoặc dao động.
CẤU TẠO: Thường bao gồm các kẹp điều chỉnh và cơ cấu xoay/dao động để phù hợp với các chất nền có hình dạng và kích thước khác nhau.
Hệ thống cung cấp điện và điều khiển:
Chức năng: Cung cấp năng lượng cho nguồn bay hơi, nguồn phun và các thiết bị khác, đồng thời kiểm soát các thông số của toàn bộ quá trình phủ như nhiệt độ, độ chân không và thời gian.
Các thành phần: Bao gồm bộ nguồn, bảng điều khiển, hệ thống điều khiển bằng máy tính và cảm biến giám sát.
Hệ thống cung cấp khí (cho thiết bị phủ màng bằng phương pháp phún xạ):
Chức năng: Cung cấp khí trơ (ví dụ: argon) hoặc khí phản ứng (ví dụ: oxy, nitơ) để duy trì plasma hoặc tham gia vào phản ứng hóa học tạo ra một lớp màng mỏng cụ thể.
Các thành phần: Bao gồm bình khí, bộ điều khiển lưu lượng và đường ống dẫn khí.
Hệ thống làm mát:
Chức năng: Làm mát nguồn bay hơi, nguồn phun và buồng chân không để ngăn ngừa quá nhiệt.
Các loại: bao gồm hệ thống làm mát bằng nước và hệ thống làm mát bằng không khí, v.v.
Hệ thống giám sát và phát hiện:
Chức năng: Giám sát thời gian thực các thông số quan trọng trong quá trình phủ, chẳng hạn như độ dày màng, tốc độ lắng đọng, độ chân không và nhiệt độ, để đảm bảo chất lượng lớp phủ.
Các loại: bao gồm cân vi lượng tinh thể thạch anh, máy đo độ dày quang học và máy phân tích khí dư, v.v.
Thiết bị bảo hộ:
Chức năng: Đảm bảo an toàn cho người vận hành và thiết bị khỏi các mối nguy hiểm do nhiệt độ cao, điện áp cao hoặc môi trường chân không gây ra.
Các bộ phận: Bao gồm các tấm chắn bảo vệ, nút dừng khẩn cấp và khóa an toàn, v.v.
Tóm tắt.
Thiết bị phủ chân không thực hiện quá trình lắng đọng các màng mỏng chất lượng cao thông qua sự phối hợp hoạt động của các thành phần này. Những máy móc này đóng vai trò quan trọng trong việc chế tạo các màng mỏng quang học, điện tử, trang trí và chức năng.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 23/7/2024