Вакуумдук каптоо жабдуулары, адатта, бир нече негизги компоненттерден турат, алардын ар биринин өзүнүн өзгөчө функциясы бар, алар натыйжалуу, бирдей пленка чөктүрүүгө жетишүү үчүн биргелешип иштешет. Төмөндө негизги компоненттердин жана алардын функцияларынын сүрөттөлүшү келтирилген:
Негизги компоненттер
Вакуум камерасы:
Функциясы: буулануу же чачыратуу учурунда каптоочу материалдын абадагы кошулмалар менен реакцияга киришине жол бербөө үчүн төмөнкү басымдагы же жогорку вакуумдук чөйрөнү камсыз кылат, бул пленканын тазалыгын жана сапатын камсыз кылат.
Түзүлүшү: Адатта жогорку бекемдиктеги, дат баспас болоттон же алюминийден жасалат, ички дизайны аба агымынын бөлүштүрүлүшүн жана негизди жайгаштыруунун оңойлугун эске алат.
Вакуумдук насос системасы:
Функциясы: Керектүү вакуумдук деңгээлге жетүү үчүн вакуумдук камеранын ичиндеги газды сордуруп чыгаруу үчүн колдонулат.
Түрлөрү: Механикалык насосторду (мисалы, айланма канаттуу насосторду), турбомолекулярдык насосторду, диффузиялык насосторду жана иондук насосторду камтыйт.
Буулануу булагы же чачыратуу булагы:
Функциясы: вакуумда буу же плазма пайда кылуу үчүн каптоочу материалды ысытат жана буулантат.
Түрлөрү: анын ичинде каршылык жылытуу булагы, электрондук нур буулануу булагы, магнетрондук чачыратуу булагы жана лазердик буулануу булагы ж.б.
Субстрат кармагычы жана айлануучу механизм:
Функциясы: Негизди кармап турат жана айлануу же термелүү аркылуу каптоо материалынын негиздин бетине бирдей чөгүшүн камсыздайт.
КУРУЛУШ: Адатта, ар кандай формадагы жана өлчөмдөгү субстраттарды жайгаштыруу үчүн жөнгө салынуучу кыскычтарды жана айлануучу/термелүүчү механизмдерди камтыйт.
Электр менен камсыздоо жана башкаруу системасы:
Функциясы: Буулануу булагын, чачыратуу булагын жана башка жабдууларды электр энергиясы менен камсыз кылат жана температура, вакуум жана убакыт сыяктуу жалпы каптоо процессинин параметрлерин башкарат.
Компоненттери: Кубат булактарын, башкаруу панелдерин, компьютерлештирилген башкаруу системаларын жана мониторинг сенсорлорун камтыйт.
Газ менен камсыздоо системасы (чачыратма менен каптоочу жабдуулар үчүн):
Функциясы: Плазманы кармап туруу же белгилүү бир жука пленканы пайда кылуу үчүн химиялык реакцияга катышуу үчүн инерттүү газдарды (мисалы, аргон) же реактивдүү газдарды (мисалы, кычкылтек, азот) камсыз кылат.
Компоненттери: Газ баллондорун, агым контроллерлерин жана газ жеткирүү түтүктөрүн камтыйт.
Муздатуу системасы:
Функциясы: ысып кетүүнүн алдын алуу үчүн буулануу булагын, чачыратуу булагын жана вакуумдук камераны муздатат.
Түрлөрү: суу менен муздатуу системаларын жана аба менен муздатуу системаларын ж.б. камтыйт.
Мониторинг жана аныктоо системасы:
Функциясы: Каптоо процессиндеги негизги параметрлерди, мисалы, пленканын калыңдыгын, чөкмө ылдамдыгын, вакуумду жана температураны реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөө, каптоонун сапатын камсыз кылуу.
Түрлөрү: кварц кристаллынын микробалансы, оптикалык калыңдык монитору жана калдык газ анализатору ж.б.
Коргоочу түзүлүштөр:
Функциясы: Операторлордун жана жабдуулардын жогорку температура, жогорку чыңалуу же вакуумдук чөйрөлөрдөн келип чыккан коркунучтардан коопсуздугун камсыз кылат.
Компоненттери: Коргоочуларды, авариялык токтотуу баскычтарын жана коопсуздук кулпуларын ж.б. камтыйт.
Кыскача айтып бериңиз.
Вакуумдук каптоо жабдуулары бул компоненттердин синергетикалык иши аркылуу жогорку сапаттагы жука пленкаларды жайгаштыруу процессин ишке ашырат. Бул машиналар оптикалык, электрондук, декоративдик жана функционалдык жука пленкаларды даярдоодо маанилүү ролду ойнойт.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 23-июлу