Вакуумдық жабын жабдықтары әдетте бірнеше негізгі компоненттерден тұрады, олардың әрқайсысының өзіндік функциясы бар, олар тиімді, біркелкі қабықша шөгіндісіне қол жеткізу үшін бірге жұмыс істейді. Төменде негізгі компоненттер мен олардың функцияларының сипаттамасы берілген:
Негізгі компоненттер
Вакуумдық камера:
Функциясы: Булану немесе шашыраңқылық кезінде жабын материалының ауадағы қоспалармен әрекеттесуіне жол бермеу үшін төмен қысымды немесе жоғары вакуумды ортаны қамтамасыз етеді, бұл пленканың тазалығы мен сапасын қамтамасыз етеді.
Құрылымы: Әдетте жоғары беріктікке ие, тот баспайтын болаттан немесе алюминийден жасалған, ішкі дизайн ауа ағынының таралуын және негізді орналастырудың қарапайымдылығын ескереді.
Вакуумдық сорғы жүйесі:
Функциясы: Қажетті вакуум деңгейіне жету үшін вакуум камерасының ішіндегі газды айдау үшін қолданылады.
Түрлері: Механикалық сорғыларды (мысалы, айналмалы қалақшалы сорғыларды), турбомолекулалық сорғыларды, диффузиялық сорғыларды және иондық сорғыларды қоса алғанда.
Булану көзі немесе шашыраңқылық көзі:
Функциясы: вакуумда бу немесе плазма түзу үшін жабын материалын қыздырады және буландырады.
Түрлері: кедергі қыздыру көзін, электронды сәуленің булану көзін, магнетронды шашырату көзін және лазерлік булану көзін және т.б. қоса алғанда
Негіз ұстағышы және айналмалы механизм:
Функциясы: Негізді ұстап тұрады және айналу немесе тербеліс арқылы жабын материалының негіз бетіне біркелкі түсуін қамтамасыз етеді.
ҚҰРЫЛЫМ: Әдетте әртүрлі пішіндегі және өлшемдегі субстраттарды орналастыру үшін реттелетін қысқыштар мен айналмалы/тербелмелі механизмдерді қамтиды.
Электрмен жабдықтау және басқару жүйесі:
Функциясы: булану көзіне, шашырату көзіне және басқа жабдықтарға қуат береді және температура, вакуум және уақыт сияқты жалпы жабу процесінің параметрлерін басқарады.
Құрамдас бөліктер: Қуат көздерін, басқару панельдерін, компьютерлендірілген басқару жүйелерін және бақылау сенсорларын қамтиды.
Газбен жабдықтау жүйесі (шашырату жабдығы үшін):
Функциясы: Плазманы ұстап тұру немесе белгілі бір жұқа қабықшаны жасау үшін химиялық реакцияға қатысу үшін инертті газдарды (мысалы, аргон) немесе реактивті газдарды (мысалы, оттегі, азот) жеткізеді.
Құрамдас бөліктер: Газ баллондары, ағын реттегіштері және газ жеткізу құбырлары кіреді.
Салқындату жүйесі:
Функциясы: қызып кетудің алдын алу үшін булану көзін, шашырату көзін және вакуумдық камераны салқындатады.
Түрлері: сумен салқындату жүйелерін және ауамен салқындату жүйелерін және т.б. қамтиды.
Бақылау және анықтау жүйесі:
Функциясы: Қаптау сапасын қамтамасыз ету үшін жабын ...
Түрлері: кварц кристалының микробалансы, оптикалық қалыңдық мониторы және қалдық газ анализаторы және т.б.
Қорғаныс құрылғылары:
Функциясы: Операторлар мен жабдықтардың жоғары температура, жоғары кернеу немесе вакуумдық ортадан туындайтын қауіптерден қауіпсіздігін қамтамасыз етеді.
Құрамдас бөліктер: Қорғаныштарды, апаттық тоқтату түймелерін және қауіпсіздік құлыптарын және т.б. қамтиды.
Қорытындылау.
Вакуумдық жабын жабдықтары осы компоненттердің синергетикалық жұмысы арқылы жоғары сапалы жұқа пленкаларды жағу процесін жүзеге асырады. Бұл машиналар оптикалық, электрондық, сәндік және функционалды жұқа пленкаларды дайындауда маңызды рөл атқарады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 23 шілде