Vakuumli qoplama uskunalari odatda bir nechta asosiy komponentlardan iborat bo'lib, ularning har biri o'ziga xos funktsiyaga ega bo'lib, samarali va bir xil plyonka cho'ktirishga erishish uchun birgalikda ishlaydi. Quyida asosiy komponentlar va ularning funktsiyalari tavsifi keltirilgan:
Asosiy komponentlar
Vakuum kamerasi:
Funktsiya: Bug'lanish yoki purkash paytida qoplama materialining havo aralashmalari bilan reaksiyaga kirishishining oldini olish uchun past bosimli yoki yuqori vakuumli muhitni ta'minlaydi, bu esa plyonkaning sofligi va sifatini ta'minlaydi.
Tuzilishi: Odatda yuqori mustahkamlikdagi, zanglamaydigan po'latdan yoki alyuminiydan yasalgan ichki dizayn havo oqimining taqsimlanishi va substratni joylashtirish qulayligini hisobga oladi.
Vakuum nasos tizimi:
Funktsiya: Kerakli vakuum darajasiga erishish uchun vakuum kamerasi ichidagi gazni pompalash uchun ishlatiladi.
Turlari: Mexanik nasoslar (masalan, aylanma qanotli nasoslar), turbomolekulyar nasoslar, diffuziya nasoslari va ion nasoslarini o'z ichiga oladi.
Bug'lanish manbai yoki purkash manbai:
Funktsiya: vakuumda bug 'yoki plazma hosil qilish uchun qoplama materialini isitadi va bug'lantiradi.
Turlari: qarshilik isitish manbai, elektron nurlarining bug'lanish manbai, magnetronli purkash manbai va lazer bug'lanish manbai va boshqalar.
Substrat ushlagichi va aylanuvchi mexanizm:
Funktsiya: Substratni ushlab turadi va aylanish yoki tebranish orqali qoplama materialining substrat yuzasiga bir tekis joylashishini ta'minlaydi.
QURILISH: Odatda turli shakl va o'lchamdagi substratlarni joylashtirish uchun sozlanishi qisqichlar va aylanuvchi/tebranuvchi mexanizmlarni o'z ichiga oladi.
Elektr ta'minoti va boshqaruv tizimi:
Funktsiya: Bug'lanish manbai, purkash manbai va boshqa uskunalarni quvvat bilan ta'minlaydi va harorat, vakuum va vaqt kabi umumiy qoplama jarayonining parametrlarini boshqaradi.
Komponentlar: Quvvat manbalari, boshqaruv panellari, kompyuterlashtirilgan boshqaruv tizimlari va monitoring sensorlarini o'z ichiga oladi.
Gaz ta'minoti tizimi (purkagich qoplama uskunalari uchun):
Funktsiya: Plazmani saqlab turish yoki ma'lum bir yupqa plyonka hosil qilish uchun kimyoviy reaksiyada ishtirok etish uchun inert gazlarni (masalan, argon) yoki reaktiv gazlarni (masalan, kislorod, azot) yetkazib beradi.
Komponentlar: Gaz ballonlari, oqim regulyatorlari va gaz yetkazib berish quvurlarini o'z ichiga oladi.
Sovutish tizimi:
Funktsiya: qizib ketishning oldini olish uchun bug'lanish manbasini, purkash manbasini va vakuum kamerasini sovutadi.
Turlari: suv sovutish tizimlari va havo sovutish tizimlari va boshqalarni o'z ichiga oladi.
Monitoring va aniqlash tizimi:
Funktsiya: Qoplama sifatini ta'minlash uchun qoplama jarayonidagi asosiy parametrlarni, masalan, plyonka qalinligi, cho'kish tezligi, vakuum va haroratni real vaqt rejimida kuzatib borish.
Turlari: kvarts kristalli mikrobalans, optik qalinlik monitori va qoldiq gaz analizatori va boshqalar.
Himoya vositalari:
Funktsiya: Operatorlar va uskunalarning yuqori harorat, yuqori kuchlanish yoki vakuum muhiti keltirib chiqaradigan xavflardan xavfsizligini ta'minlaydi.
Komponentlar: Himoyachilar, favqulodda to'xtatish tugmalari va xavfsizlik qulflari va boshqalarni o'z ichiga oladi.
Xulosa qiling.
Vakuumli qoplama uskunalari ushbu komponentlarning sinergik ishi orqali yuqori sifatli yupqa plyonkalarni yotqizish jarayonini amalga oshiradi. Ushbu mashinalar optik, elektron, dekorativ va funktsional yupqa plyonkalarni tayyorlashda muhim rol o'ynaydi.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2024-yil 23-iyul