Vacuümcoatingapparatuur bestaat doorgaans uit verschillende belangrijke componenten, elk met een eigen specifieke functie, die samenwerken om een efficiënte en uniforme filmafzetting te realiseren. Hieronder volgt een beschrijving van de belangrijkste componenten en hun functies:
Belangrijkste componenten
Vacuümkamer:
Functie: Zorgt voor een omgeving met lage druk of hoog vacuüm om te voorkomen dat het coatingmateriaal reageert met zwevende deeltjes tijdens verdamping of sputteren, waardoor de zuiverheid en kwaliteit van de film gewaarborgd blijven.
Structuur: Meestal gemaakt van zeer sterk roestvrij staal of aluminium, houdt het interne ontwerp rekening met de luchtstroomverdeling en het gemak waarmee substraten geplaatst kunnen worden.
Vacuümpompsysteem:
Functie: Wordt gebruikt om het gas in de vacuümkamer weg te pompen en zo het gewenste vacuümniveau te bereiken.
Soorten: waaronder mechanische pompen (bijv. roterende schottenpompen), turbomoleculaire pompen, diffusiepompen en ionenpompen.
Verdampingsbron of sputterbron:
Functie: verhit en verdampt het coatingmateriaal, waardoor in een vacuüm damp of plasma ontstaat.
Soorten: waaronder weerstandsverwarmingsbronnen, elektronenbundelverdampingsbronnen, magnetron-sputterbronnen en laserverdampingsbronnen, enz.
Substraathouder en draaimechanisme:
Functie: Houdt het substraat vast en zorgt door rotatie of oscillatie voor een gelijkmatige afzetting van het coatingmateriaal op het oppervlak van het substraat.
CONSTRUCTIE: Omvat doorgaans verstelbare klemmen en draai-/oscillatiemechanismen om substraten van verschillende vormen en afmetingen te kunnen verwerken.
Voeding en besturingssysteem:
Functie: Levert stroom aan de verdampingsbron, de sputterbron en andere apparatuur, en regelt parameters van het gehele coatingproces, zoals temperatuur, vacuüm en tijd.
Onderdelen: Omvat voedingen, bedieningspanelen, computergestuurde systemen en bewakingssensoren.
Gastoevoersysteem (voor sputtercoatingapparatuur):
Functie: Levert inerte gassen (bijv. argon) of reactieve gassen (bijv. zuurstof, stikstof) om een plasma in stand te houden of om deel te nemen aan een chemische reactie om een specifieke dunne film te genereren.
Onderdelen: Omvat gasflessen, debietregelaars en gasleidingen.
Koelsysteem:
Functie: koelt de verdampingsbron, de sputterbron en de vacuümkamer om oververhitting te voorkomen.
Soorten: waaronder waterkoelsystemen en luchtkoelsystemen, enz.
Monitoring- en detectiesysteem:
Functie: Realtime monitoring van belangrijke parameters in het coatingproces, zoals filmdikte, afzettingssnelheid, vacuüm en temperatuur, om de coatingkwaliteit te waarborgen.
Soorten: waaronder kwartskristalmicrobalans, optische diktemeter en restgasanalysator, enz.
Beschermingsmiddelen:
Functie: Garandeert de veiligheid van operators en apparatuur tegen gevaren veroorzaakt door hoge temperaturen, hoge spanningen of vacuümomgevingen.
Onderdelen: Inclusief beschermkappen, noodstopknoppen en veiligheidsvergrendelingen, enz.
Samenvatten.
Vacuümcoatingapparatuur maakt het mogelijk om hoogwaardige dunne films af te zetten door de synergetische werking van deze componenten. Deze machines spelen een essentiële rol bij de productie van optische, elektronische, decoratieve en functionele dunne films.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 23 juli 2024