Vakuum örtük avadanlığı, adətən, hər birinin özünəməxsus funksiyası olan və səmərəli və vahid film çöküntüsünə nail olmaq üçün birlikdə işləyən bir neçə əsas komponentdən ibarətdir. Aşağıda əsas komponentlərin və onların funksiyalarının təsviri verilmişdir:
Əsas komponentlər
Vakuum kamerası:
Funksiya: Buxarlanma və ya püskürmə zamanı örtük materialının hava çirkləri ilə reaksiyaya girməsinin qarşısını almaq üçün aşağı təzyiqli və ya yüksək vakuumlu mühit təmin edir və bu da filmin saflığını və keyfiyyətini təmin edir.
Quruluş: Adətən yüksək möhkəmlikli, paslanmayan poladdan və ya alüminiumdan hazırlanan daxili dizayn hava axınının paylanmasını və substratın yerləşdirilməsinin asanlığını nəzərə alır.
Vakuum nasos sistemi:
Funksiya: Lazımi vakuum səviyyəsinə çatmaq üçün vakuum kamerasının içərisindəki qazı pompalamaq üçün istifadə olunur.
Növləri: Mexaniki nasoslar (məsələn, fırlanan qanadlı nasoslar), turbomolekulyar nasoslar, diffuziya nasosları və ion nasosları daxildir.
Buxarlanma mənbəyi və ya püskürmə mənbəyi:
Funksiya: vakuumda buxar və ya plazma əmələ gətirmək üçün örtük materialını qızdırır və buxarlandırır.
Növləri: müqavimət istilik mənbəyi, elektron şüası buxarlanma mənbəyi, maqnetron püskürtmə mənbəyi və lazer buxarlanma mənbəyi və s. daxil olmaqla
Substrat tutucusu və fırlanan mexanizm:
Funksiya: Substratı saxlayır və fırlanma və ya salınma yolu ilə örtük materialının substratın səthində bərabər şəkildə çökməsini təmin edir.
TİKİNTİ: Adətən müxtəlif formalı və ölçülü substratları yerləşdirmək üçün tənzimlənən sıxaclar və fırlanan/salınan mexanizmlər daxildir.
Enerji təchizatı və idarəetmə sistemi:
Funksiya: Buxarlanma mənbəyinə, püskürtmə mənbəyinə və digər avadanlıqlara enerji verir və temperatur, vakuum və vaxt kimi ümumi örtük prosesinin parametrlərini idarə edir.
Komponentlər: Enerji təchizatı, idarəetmə panelləri, kompüterləşdirilmiş idarəetmə sistemləri və monitorinq sensorları daxildir.
Qaz Təchizatı Sistemi (çiləmə örtüyü avadanlığı üçün):
Funksiya: Plazmanı saxlamaq və ya müəyyən bir nazik təbəqə yaratmaq üçün kimyəvi reaksiyada iştirak etmək üçün inert qazlar (məsələn, argon) və ya reaktiv qazlar (məsələn, oksigen, azot) təmin edir.
Komponentlər: Qaz silindrləri, axın tənzimləyiciləri və qaz çatdırılma boru kəmərləri daxildir.
Soyutma Sistemi:
Funksiya: həddindən artıq istiləşmənin qarşısını almaq üçün buxarlanma mənbəyini, püskürtmə mənbəyini və vakuum kamerasını soyudur.
Növləri: su soyutma sistemləri və hava soyutma sistemləri və s. daxildir.
Monitorinq və aşkarlama sistemi:
Funksiya: Örtük keyfiyyətini təmin etmək üçün örtük prosesindəki əsas parametrlərin, məsələn, film qalınlığı, çökmə sürəti, vakuum və temperaturun real vaxt rejimində monitorinqi.
Növləri: kvars kristal mikrobalans, optik qalınlıq monitoru və qalıq qaz analizatoru və s. daxil olmaqla
Qoruyucu qurğular:
Funksiya: Operatorların və avadanlıqların yüksək temperatur, yüksək gərginlik və ya vakuum mühitlərinin yaratdığı təhlükələrdən təhlükəsizliyini təmin edir.
Komponentlər: Mühafizəçilər, təcili dayandırma düymələri və təhlükəsizlik kilidləri və s. daxildir.
Xülasə edin.
Vakuum örtük avadanlığı, bu komponentlərin sinergetik işi vasitəsilə yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələrin çökdürülməsi prosesini həyata keçirir. Bu maşınlar optik, elektron, dekorativ və funksional nazik təbəqələrin hazırlanmasında mühüm rol oynayır.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 23 iyul 2024