Wakuum örtük enjamlary, adatça, netijeli we birmeňzeş plýonka çökündisini gazanmak üçin bilelikde işleýän birnäçe esasy böleklerden ybarat bolup, olaryň her biriniň özüne mahsus funksiýasy bar. Aşakda esasy bölekleriň we olaryň funksiýalarynyň beýany berilýär:
Esasy komponentler
Wakuum kamerasy:
Funksiýasy: Bugaryş ýa-da püskürme wagtynda örtük materialynyň howadaky hapaçylyklar bilen reaksiýa girmeginiň öňüni almak üçin pes basyşly ýa-da ýokary wakuumly gurşawy üpjün edýär, bu bolsa plýonkanyň arassalygyny we hilini üpjün edýär.
Gurluşy: Adatça ýokary berklikli, poslamaýan polatdan ýa-da alýuminden ýasalýar, içki dizaýn howa akymynyň paýlanyşyny we substratyň ýerleşdirilmeginiň aňsatlygyny göz öňünde tutýar.
Wakuum nasos ulgamy:
Funksiýasy: Gerekli wakuum derejesine ýetmek üçin wakuum kamerasynyň içindäki gazy sormak üçin ulanylýar.
Görnüşleri: Mehaniki nasoslary (meselem, aýlanýan pervaneli nasoslary), turbomolekulýar nasoslary, diffuziýa nasoslaryny we ion nasoslaryny öz içine alýar.
Bugaryş çeşmesi ýa-da püskürme çeşmesi:
Funksiýasy: örtük materialyny gyzdyrýar we buglandyrýar, wakuumda bug ýa-da plazma emele getirýär.
Görnüşleri: garşylykly gyzdyryş çeşmesi, elektron şöhlesiniň buharlanma çeşmesi, magnetron püskürme çeşmesi we lazer buharlanma çeşmesi we ş.m.
Substrat saklaýjysy we aýlanýan mehanizm:
Funksiýasy: Substraty saklaýar we aýlanma ýa-da yrgyldama arkaly örtük materialynyň substratyň ýüzünde deň derejede ýerleşdirilmegini üpjün edýär.
GURLUŞYK: Adatça dürli görnüşli we ölçegli substratlary ýerleşdirmek üçin sazlanyp bilinýän gysgyçlary we aýlanýan/tirkeýän mehanizmleri öz içine alýar.
Elektrik üpjünçiligi we dolandyryş ulgamy:
Funksiýasy: Bugaryş çeşmesine, püskürtme çeşmesine we beýleki enjamlara elektrik energiýasyny berýär, şeýle hem temperatura, wakuum we wagt ýaly umumy örtük prosesiniň parametrlerini dolandyrýar.
Komponentler: Elektrik çeşmelerini, dolandyryş panellerini, kompýuterleşdirilen dolandyryş ulgamlaryny we gözegçilik datçiklerini öz içine alýar.
Gaz üpjünçilik ulgamy (püskürtme örtük enjamlary üçin):
Funksiýasy: Plazmany saklamak ýa-da belli bir inçe plýonka döretmek üçin himiki reaksiýa gatnaşmak üçin inert gazlary (meselem, argon) ýa-da reaktiw gazlary (meselem, kislorod, azot) üpjün edýär.
Komponentler: Gaz ballonlaryny, akym kontrollerlerini we gaz geçiriji turbalary öz içine alýar.
Sowadyjy ulgam:
Funksiýasy: gyzgynlygyň öňüni almak üçin bugaryş çeşmesini, püskürtme çeşmesini we wakuum kamerasyny sowadýar.
Görnüşleri: suw sowadyjy ulgamlary we howa sowadyjy ulgamlary we ş.m. öz içine alýar.
Gözegçilik we anyklaýyş ulgamy:
Funksiýasy: Örtükiň hilini üpjün etmek üçin örtük prosesinde plýonkanyň galyňlygy, çökme tizligi, wakuum we temperatura ýaly esasy parametrleriň real wagt režiminde gözegçilik edilmegi.
Görnüşleri: kwars kristal mikrobalans, optiki galyňlyk monitory we galyndy gaz analizatory we ş.m.
Gorag enjamlary:
Funksiýasy: Operatorlaryň we enjamlaryň ýokary temperatura, ýokary woltlylyk ýa-da wakuum gurşawlary sebäpli ýüze çykýan howplardan howpsuzlygyny üpjün edýär.
Komponentler: Goragçylar, adatdan daşary ýagdaýlarda togtadyş düwmeleri we howpsuzlyk gulplary we ş.m. öz içine alýar.
Gysgaça beýan ediň.
Wakuum örtük enjamlary bu bölekleriň sinergetik işi arkaly ýokary hilli inçe plýonkalary ýerleşdirmek prosesini amala aşyrýar. Bu maşynlar optiki, elektroniki, bezeg we funksional inçe plýonkalary taýýarlamakda möhüm rol oýnaýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 23-nji iýuly