व्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणामध्ये सामान्यतः अनेक मुख्य घटक असतात, ज्यापैकी प्रत्येकाचे स्वतःचे विशिष्ट कार्य असते आणि ते कार्यक्षम, एकसमान थर जमा करण्यासाठी एकत्रितपणे काम करतात. खाली मुख्य घटक आणि त्यांच्या कार्यांचे वर्णन दिले आहे:
मुख्य घटक
निर्वात कक्ष:
कार्य: बाष्पीभवन किंवा स्पटरिंग दरम्यान हवेतील अशुद्ध घटकांशी कोटिंग मटेरियलची अभिक्रिया रोखण्यासाठी कमी-दाबाचे किंवा उच्च-निर्वात वातावरण प्रदान करते, ज्यामुळे फिल्मची शुद्धता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित होते.
रचना: सामान्यतः उच्च-शक्तीच्या स्टेनलेस स्टील किंवा ॲल्युमिनियमपासून बनवलेल्या याच्या अंतर्गत रचनेत हवेच्या प्रवाहाचे वितरण आणि सब्सट्रेट ठेवण्याची सुलभता विचारात घेतली जाते.
व्हॅक्यूम पंप प्रणाली:
कार्य: आवश्यक व्हॅक्यूम पातळी प्राप्त करण्यासाठी व्हॅक्यूम चेंबरमधील वायू बाहेर काढण्यासाठी वापरले जाते.
प्रकार: यामध्ये मेकॅनिकल पंप (उदा. रोटरी वेन पंप), टर्बोमॉलिक्युलर पंप, डिफ्यूजन पंप आणि आयन पंप यांचा समावेश आहे.
बाष्पीभवन स्रोत किंवा स्फोटन स्रोत:
कार्य: व्हॅक्यूममध्ये कोटिंग मटेरियलला गरम करून त्याचे बाष्पीभवन करते, ज्यामुळे वाफ किंवा प्लाझ्मा तयार होतो.
प्रकार: यामध्ये रेझिस्टन्स हीटिंग सोर्स, इलेक्ट्रॉन बीम इव्हॅपोरेशन सोर्स, मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग सोर्स आणि लेझर इव्हॅपोरेशन सोर्स इत्यादींचा समावेश आहे.
आधार धारक आणि फिरणारी यंत्रणा:
कार्य: फिरवून किंवा हलवून सब्सट्रेटला धरून ठेवते आणि सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर कोटिंग मटेरियलचे एकसमान निक्षेपण सुनिश्चित करते.
रचना: यामध्ये सामान्यतः वेगवेगळ्या आकारांच्या आणि मापांच्या सब्सट्रेट्सना सामावून घेण्यासाठी समायोज्य क्लॅम्प्स आणि फिरणाऱ्या/दोलन करणाऱ्या यंत्रणांचा समावेश असतो.
वीज पुरवठा आणि नियंत्रण प्रणाली:
कार्य: बाष्पीभवन स्रोत, स्पटरिंग स्रोत आणि इतर उपकरणांना वीजपुरवठा करणे, तसेच तापमान, व्हॅक्यूम आणि वेळ यांसारख्या संपूर्ण कोटिंग प्रक्रियेच्या पॅरामीटर्सवर नियंत्रण ठेवणे.
घटक: यामध्ये वीज पुरवठा, नियंत्रण पॅनेल, संगणकीकृत नियंत्रण प्रणाली आणि देखरेख सेन्सर यांचा समावेश आहे.
गॅस पुरवठा प्रणाली (स्पटर कोटिंग उपकरणांसाठी):
कार्य: प्लाझ्मा टिकवून ठेवण्यासाठी किंवा विशिष्ट पातळ थर तयार करण्यासाठी रासायनिक अभिक्रियेत भाग घेण्यासाठी निष्क्रिय वायू (उदा., आर्गॉन) किंवा प्रतिक्रियाशील वायू (उदा., ऑक्सिजन, नायट्रोजन) पुरवणे.
घटक: यामध्ये गॅस सिलिंडर, फ्लो कंट्रोलर आणि गॅस वितरण पाइपिंग यांचा समावेश आहे.
शीतकरण प्रणाली:
कार्य: बाष्पीभवन स्रोत, स्पटरिंग स्रोत आणि व्हॅक्यूम चेंबर यांना अतिउष्णता टाळण्यासाठी थंड करते.
प्रकारांमध्ये वॉटर कूलिंग सिस्टीम आणि एअर कूलिंग सिस्टीम इत्यादींचा समावेश होतो.
देखरेख आणि शोध प्रणाली:
कार्य: कोटिंगची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी, कोटिंग प्रक्रियेतील फिल्मची जाडी, निक्षेपण दर, व्हॅक्यूम आणि तापमान यांसारख्या प्रमुख पॅरामीटर्सचे रिअल-टाइम निरीक्षण करणे.
प्रकारांमध्ये क्वार्ट्झ क्रिस्टल मायक्रोबॅलन्स, ऑप्टिकल थिकनेस मॉनिटर आणि रेसिड्युअल गॅस अॅनालायझर इत्यादींचा समावेश आहे.
संरक्षक उपकरणे:
कार्य: उच्च तापमान, उच्च व्होल्टेज किंवा निर्वात वातावरणामुळे निर्माण होणाऱ्या धोक्यांपासून ऑपरेटर आणि उपकरणांची सुरक्षितता सुनिश्चित करणे.
घटक: यामध्ये संरक्षक, आपत्कालीन थांबा बटणे आणि सुरक्षा इंटरलॉक इत्यादींचा समावेश आहे.
सारांश सांगा.
व्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे या घटकांच्या एकत्रित कार्याद्वारे उच्च-गुणवत्तेचे पातळ थर जमा करण्याची प्रक्रिया साकार करतात. ऑप्टिकल, इलेक्ट्रॉनिक, सजावटीचे आणि कार्यात्मक पातळ थर तयार करण्यामध्ये ही यंत्रे महत्त्वाची भूमिका बजावतात.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: जुलै-२३-२०२४