Вакуум каплау җиһазлары, гадәттә, берничә төп компоненттан тора, һәрберсенең үз функциясе бар, алар нәтиҗәле, бердәм пленка урнаштыруга ирешү өчен бергә эшли. Түбәндә төп компонентлар һәм аларның функцияләре тасвирламасы бирелгән:
Төп компонентлар
Вакуум камерасы:
Функциясе: Парга әйләнү яки сиптерү вакытында каплау материалының һавадагы катнашмалар белән реакциягә керүен булдырмас өчен түбән басымлы яки югары вакуумлы мохит тәэмин итә, пленканың сафлыгын һәм сыйфатын тәэмин итә.
Төзелеш: Гадәттә югары ныклыктагы, дат басмас корычтан яки алюминийдан ясала, эчке дизайн һава агымының таралуын һәм нигезнең җиңел урнашуын исәпкә ала.
Вакуум насосы системасы:
Функциясе: Кирәкле вакуум дәрәҗәсенә ирешү өчен вакуум камерасы эчендәге газны чыгару өчен кулланыла.
Төрләре: Механик насослар (мәсәлән, роторлы канатлы насослар), турбомолекуляр насослар, диффузия насослары һәм ион насослары.
Парга әйләнү чыганагы яки сиптерү чыганагы:
Функциясе: каплау материалын җылыта һәм парга әйләндерә, вакуумда пар яки плазма барлыкка китерә.
Төрләре: каршылыклы җылыту чыганагы, электрон нурының парга әйләнү чыганагы, магнетрон сиптерү чыганагы һәм лазер парга әйләнү чыганагы һ.б.
Субстрат тоткасы һәм әйләндергеч механизм:
Функциясе: Төп катламны тотып тора һәм әйләнү яки тирбәнү юлы белән каплау материалының төп катлам өслегенә тигез урнашуын тәэмин итә.
КОНСТРУКЦИЯ: Гадәттә төрле формадагы һәм зурлыктагы субстратларны урнаштыру өчен көйләнә торган кыскычлар һәм әйләнүче/тирбәнү механизмнары бар.
Электр белән тәэмин итү һәм идарә итү системасы:
Функциясе: Парга әйләндерү чыганагына, сиптерү чыганагына һәм башка җиһазларга электр энергиясе бирә, шулай ук каплау процессының гомуми параметрларын, мәсәлән, температура, вакуум һәм вакытны контрольдә тота.
Компонентлар: Электр белән тәэмин итү чыганаклары, идарә итү панельләре, компьютерлаштырылган идарә итү системалары һәм күзәтү сенсорлары.
Газ белән тәэмин итү системасы (сиптерү белән каплау җиһазлары өчен):
Функциясе: Плазманы саклап тору яки билгеле бер юка пленка булдыру өчен химик реакциядә катнашу өчен инерт газлар (мәсәлән, аргон) яки реактив газлар (мәсәлән, кислород, азот) белән тәэмин итә.
Компонентлар: Газ баллоннары, агым контроллерлары һәм газ җибәрү торбалары керә.
Суыту системасы:
Функциясе: парга әйләнү чыганагын, сиптерү чыганагын һәм вакуум камерасын суыта, артык кызуны булдырмый.
Төрләре: су белән суыту системаларын һәм һава белән суыту системаларын һ.б. үз эченә ала.
Мониторинг һәм ачыклау системасы:
Функция: Каплау сыйфатын тәэмин итү өчен каплау процессындагы төп параметрларны, мәсәлән, пленка калынлыгын, утыру тизлеген, вакуумны һәм температураны реаль вакыт режимында күзәтү.
Төрләре: шул исәптән кварц кристалл микробалансы, оптик калынлык мониторы һәм калдык газ анализаторы һ.б.
Саклау җайланмалары:
Функциясе: Операторларның һәм җиһазларның югары температура, югары көчәнеш яки вакуум мохите китереп чыгарган куркынычлардан иминлеген тәэмин итә.
Компонентлар: Саклагычлар, авариядән соң туктату төймәләре һәм куркынычсызлык блокировкалары һ.б. керә.
Кыскача сөйләгез.
Вакуум каплау җиһазлары югары сыйфатлы юка пленкаларны урнаштыру процессын бу компонентларның синергетик эше аша гамәлгә ашыра. Бу машиналар оптик, электрон, декоратив һәм функциональ юка пленкалар әзерләүдә мөһим роль уйный.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 23 июле