Вакуум бүрэх төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд

Вакуум бүрэх төхөөрөмж нь ихэвчлэн үр ашигтай, жигд хальсан бүрхүүл үүсгэхийн тулд хамтран ажилладаг хэд хэдэн гол бүрэлдэхүүн хэсгээс бүрддэг бөгөөд тус бүр нь өөрийн гэсэн өвөрмөц үүрэгтэй байдаг. Доор үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд болон тэдгээрийн үүргүүдийн тайлбарыг оруулав.

Үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Вакуум камер:
Чиг үүрэг: Ууршилт эсвэл цацалтын үед бүрхүүлийн материал агаарт байгаа хольцтой урвалд орохоос сэргийлж, хальсны цэвэршилт болон чанарыг хангахын тулд нам даралттай эсвэл өндөр вакуум орчинг бүрдүүлнэ.
Бүтэц: Ихэвчлэн өндөр бат бэхтэй, зэвэрдэггүй ган эсвэл хөнгөн цагаанаар хийгдсэн байдаг бөгөөд дотоод дизайн нь агаарын урсгалын тархалт болон суурь байрлуулахад хялбар байдлыг харгалзан үздэг.
Вакуум насосны систем:
Чиг үүрэг: Шаардлагатай вакуум түвшинд хүрэхийн тулд вакуум камер доторх хийг шахахад ашигладаг.
Төрөл: Механик насос (жишээ нь эргэлдэгч сэнсний насос), турбомолекул насос, диффузийн насос болон ионы насос орно.
Ууршилтын эх үүсвэр эсвэл цацалтын эх үүсвэр:
Чиг үүрэг: вакуум орчинд бүрэх материалыг халааж, ууршуулж уур эсвэл плазм үүсгэдэг.
Төрөл: эсэргүүцлийн халаалтын эх үүсвэр, электрон цацрагийн ууршилтын эх үүсвэр, магнетрон цацалтын эх үүсвэр болон лазерын ууршилтын эх үүсвэр гэх мэт орно.
Субстрат эзэмшигч ба эргэлдэгч механизм:
Чиг үүрэг: Субстратыг барьж, эргэлт эсвэл хэлбэлзэлээр бүрэх материалыг суурийн гадаргуу дээр жигд наалдуулахыг баталгаажуулна.
БАРИЛГА: Ихэвчлэн янз бүрийн хэлбэр, хэмжээтэй суурь материалыг байрлуулахын тулд тохируулж болох хавчаар болон эргэлдэгч/хэлбэлзэгч механизмыг агуулдаг.
Цахилгаан хангамж ба хяналтын систем:
Чиг үүрэг: Ууршилтын эх үүсвэр, цацалтын эх үүсвэр болон бусад тоног төхөөрөмжийг цахилгаанаар хангах, мөн температур, вакуум, хугацаа зэрэг бүрхүүлийн ерөнхий процессын параметрүүдийг хянана.
Бүрэлдэхүүн хэсгүүд: Цахилгаан хангамж, удирдлагын самбар, компьютержсэн удирдлагын систем, хяналтын мэдрэгч зэрэг орно.
Хийн хангамжийн систем (цацагч бүрхүүлийн тоног төхөөрөмжид зориулсан):
Чиг үүрэг: Плазмыг хадгалах эсвэл тодорхой нимгэн хальс үүсгэх химийн урвалд оролцохын тулд инертийн хий (жишээ нь, аргон) эсвэл урвалд ордог хий (жишээ нь, хүчилтөрөгч, азот)-ийг нийлүүлдэг.
Бүрэлдэхүүн хэсгүүд: Хийн цилиндр, урсгалын хянагч, хийн дамжуулах хоолой багтана.
Хөргөлтийн систем:
Чиг үүрэг: Хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд ууршилтын эх үүсвэр, цацалтын эх үүсвэр болон вакуум камерыг хөргөнө.
Төрөл: ус хөргөх систем болон агаар хөргөх систем гэх мэт орно.
Хяналт ба илрүүлэлтийн систем:
Чиг үүрэг: Бүрхүүлийн чанарыг хангахын тулд бүрхүүлийн процессын гол параметрүүд болох хальсны зузаан, тунадасны хурд, вакуум болон температурыг бодит цагийн хяналтаар хянах.
Төрөл: кварцын талстын микро баланс, оптик зузааны хяналт болон үлдэгдэл хийн анализатор гэх мэт орно.
Хамгаалалтын төхөөрөмжүүд:
Чиг үүрэг: Өндөр температур, өндөр хүчдэл эсвэл вакуум орчинд учирч болзошгүй аюулаас оператор болон тоног төхөөрөмжийн аюулгүй байдлыг хангана.
Бүрэлдэхүүн хэсгүүд: Хамгаалагч, яаралтай зогсоох товчлуур, аюулгүйн түгжээ гэх мэт орно.
Дүгнэж хэл.
Вакуум бүрэх төхөөрөмж нь эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн синергетик ажиллагаагаар дамжуулан өндөр чанартай нимгэн хальсыг хуримтлуулах үйл явцыг хэрэгжүүлдэг. Эдгээр машинууд нь оптик, электрон, гоёл чимэглэлийн болон функциональ нимгэн хальс бэлтгэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа