Piranti pelapisan vakum biasane kasusun saka sawetara komponen kunci, saben komponen nduweni fungsi dhewe-dhewe, sing kerja bareng kanggo entuk deposisi film sing efisien lan seragam. Ing ngisor iki katrangan babagan komponen utama lan fungsine:
Komponen Utama
Kamar vakum:
Fungsi: Nyedhiyakake lingkungan tekanan rendah utawa vakum dhuwur kanggo nyegah bahan lapisan reaksi karo rereged ing udhara sajrone penguapan utawa sputtering, njamin kemurnian lan kualitas film.
Struktur: Biasane digawe saka baja tahan karat utawa aluminium sing kuwat, desain internal nganggep distribusi aliran udara lan gampange penempatan substrat.
Sistem pompa vakum:
Fungsi: Digunakake kanggo mompa metu gas ing njero ruang vakum kanggo entuk tingkat vakum sing dibutuhake.
Jinis-jinis: Kalebu pompa mekanik (kayata pompa baling-baling putar), pompa turbomolekul, pompa difusi lan pompa ion.
Sumber penguapan utawa sumber semburan:
Fungsi: manasi lan nguapaké bahan pelapis kanggo mbentuk uap utawa plasma ing ruang hampa.
Jinis-jinis: kalebu sumber pemanasan resistensi, sumber penguapan sinar elektron, sumber sputtering magnetron lan sumber penguapan laser, lan liya-liyane.
Pemegang substrat lan mekanisme puteran:
Fungsi: Nyekel substrat lan njamin pengendapan bahan pelapis sing seragam ing permukaan substrat kanthi rotasi utawa osilasi.
KONSTRUKSI: Biasane kalebu klem sing bisa diatur lan mekanisme puteran/osilasi kanggo nampung substrat kanthi macem-macem bentuk lan ukuran.
Sistem catu daya lan kontrol:
Fungsi: Nyedhiyakake daya menyang sumber penguapan, sumber sputtering, lan peralatan liyane, lan ngontrol parameter proses pelapisan sakabèhé kayata suhu, vakum, lan wektu.
Komponen: Kalebu catu daya, panel kontrol, sistem kontrol komputerisasi, lan sensor pemantauan.
Sistem Pasokan Gas (kanggo peralatan pelapisan sputter):
Fungsi: Nyedhiyakake gas inert (kayata, argon) utawa gas reaktif (kayata, oksigen, nitrogen) kanggo njaga plasma utawa melu reaksi kimia kanggo ngasilake film tipis tartamtu.
Komponen: Kalebu tabung gas, pengontrol aliran, lan pipa pangiriman gas.
Sistem Pendinginan:
Fungsi: ngademake sumber penguapan, sumber semburan, lan ruang vakum kanggo nyegah panas banget.
Jinis-jinis: kalebu sistem pendingin banyu lan sistem pendingin udara, lan liya-liyane.
Sistem pemantauan lan deteksi:
Fungsi: Pemantauan wektu nyata saka parameter kunci ing proses pelapisan, kayata kekandelan film, tingkat deposisi, vakum lan suhu, kanggo njamin kualitas pelapisan.
Jinis-jinis: kalebu mikrobalance kristal kuarsa, monitor kekandelan optik lan penganalisis gas residual, lan liya-liyane.
Piranti protèktif:
Fungsi: Njamin keamanan operator lan peralatan saka bebaya sing disebabake dening suhu dhuwur, voltase dhuwur utawa lingkungan vakum.
Komponen: Kalebu pengaman, tombol mandheg darurat lan kunci pengaman, lsp.
Ringkesna.
Piranti pelapisan vakum nglakokake proses panyimpenan film tipis berkualitas tinggi liwat kerja sinergis komponen kasebut. Mesin-mesin iki nduweni peran penting ing persiapan film tipis optik, elektronik, dekoratif, lan fungsional.
-Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 23 Juli 2024