ভ্যাকুয়াম কোটিং সরঞ্জাম সাধারণত কয়েকটি মূল উপাদান নিয়ে গঠিত, যার প্রত্যেকটির নিজস্ব নির্দিষ্ট কাজ রয়েছে এবং যা কার্যকর ও সুষম ফিল্ম জমা করার জন্য সমন্বিতভাবে কাজ করে। নিচে প্রধান উপাদান এবং তাদের কার্যাবলীর বর্ণনা দেওয়া হলো:
প্রধান উপাদান
ভ্যাকুয়াম চেম্বার:
কার্যকারিতা: বাষ্পীভবন বা স্পাটারিংয়ের সময় আবরণী উপাদানকে বায়ুবাহিত অশুদ্ধির সাথে বিক্রিয়া করা থেকে বিরত রাখতে একটি নিম্নচাপ বা উচ্চ-শূন্যস্থানের পরিবেশ প্রদান করে, যা ফিল্মের বিশুদ্ধতা এবং গুণমান নিশ্চিত করে।
গঠন: সাধারণত উচ্চ-শক্তির স্টেইনলেস স্টিল বা অ্যালুমিনিয়াম দিয়ে তৈরি, এর অভ্যন্তরীণ নকশায় বায়ুপ্রবাহের বণ্টন এবং সাবস্ট্রেট স্থাপনের সুবিধার কথা বিবেচনা করা হয়।
ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেম:
কাজ: প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম স্তর অর্জনের জন্য ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভেতরের গ্যাস পাম্প করে বের করে দিতে এটি ব্যবহৃত হয়।
প্রকারভেদ: এর মধ্যে রয়েছে যান্ত্রিক পাম্প (যেমন রোটারি ভেইন পাম্প), টার্বোমলিকিউলার পাম্প, ডিফিউশন পাম্প এবং আয়ন পাম্প।
বাষ্পীভবন উৎস বা স্পাটারিং উৎস:
কাজ: ভ্যাকুয়ামের মধ্যে আবরণী উপাদানকে উত্তপ্ত করে বাষ্পীভূত করে বাষ্প বা প্লাজমা তৈরি করা।
প্রকারভেদ: এর মধ্যে রয়েছে রেজিস্ট্যান্স হিটিং সোর্স, ইলেকট্রন বিম ইভাপোরেশন সোর্স, ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং সোর্স এবং লেজার ইভাপোরেশন সোর্স ইত্যাদি।
সাবস্ট্রেট হোল্ডার এবং ঘূর্ণন প্রক্রিয়া:
কাজ: ঘূর্ণন বা দোলনের মাধ্যমে সাবস্ট্রেটকে ধরে রাখে এবং এর পৃষ্ঠে আবরণী উপাদানের সুষম প্রলেপ নিশ্চিত করে।
গঠন: সাধারণত বিভিন্ন আকৃতি ও আকারের পৃষ্ঠতলের সাথে মানিয়ে নেওয়ার জন্য এতে সামঞ্জস্যযোগ্য ক্ল্যাম্প এবং ঘূর্ণন/দোলন ব্যবস্থা অন্তর্ভুক্ত থাকে।
বিদ্যুৎ সরবরাহ ও নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা:
কাজ: ইভাপোরেশন সোর্স, স্পাটারিং সোর্স এবং অন্যান্য সরঞ্জামে শক্তি সরবরাহ করে এবং সামগ্রিক কোটিং প্রক্রিয়ার তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম ও সময়ের মতো প্যারামিটারগুলো নিয়ন্ত্রণ করে।
উপাদানসমূহ: এর মধ্যে রয়েছে পাওয়ার সাপ্লাই, কন্ট্রোল প্যানেল, কম্পিউটারাইজড কন্ট্রোল সিস্টেম এবং মনিটরিং সেন্সর।
গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থা (স্পাটার কোটিং যন্ত্রপাতির জন্য):
কাজ: প্লাজমা বজায় রাখতে অথবা একটি নির্দিষ্ট পাতলা স্তর তৈরির জন্য রাসায়নিক বিক্রিয়ায় অংশ নিতে নিষ্ক্রিয় গ্যাস (যেমন, আর্গন) বা সক্রিয় গ্যাস (যেমন, অক্সিজেন, নাইট্রোজেন) সরবরাহ করে।
উপাদানসমূহ: এর মধ্যে রয়েছে গ্যাস সিলিন্ডার, ফ্লো কন্ট্রোলার এবং গ্যাস সরবরাহের পাইপ।
শীতলীকরণ ব্যবস্থা:
কাজ: অতিরিক্ত গরম হওয়া রোধ করতে ইভাপোরেশন সোর্স, স্পাটারিং সোর্স এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারকে শীতল করে।
প্রকারভেদ: এর মধ্যে জল শীতলীকরণ ব্যবস্থা এবং বায়ু শীতলীকরণ ব্যবস্থা ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত।
পর্যবেক্ষণ ও সনাক্তকরণ ব্যবস্থা:
কার্যকারিতা: আবরণের গুণমান নিশ্চিত করার জন্য আবরণ প্রক্রিয়ার গুরুত্বপূর্ণ প্যারামিটার, যেমন ফিল্মের পুরুত্ব, জমা হওয়ার হার, ভ্যাকুয়াম এবং তাপমাত্রা, রিয়েল-টাইমে পর্যবেক্ষণ করা।
প্রকারভেদ: কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল মাইক্রোব্যালেন্স, অপটিক্যাল থিকনেস মনিটর এবং রেসিড্যুয়াল গ্যাস অ্যানালাইজার ইত্যাদি।
সুরক্ষামূলক সরঞ্জাম:
কার্যকারিতা: উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ ভোল্টেজ বা শূন্য পরিবেশের কারণে সৃষ্ট বিপদ থেকে চালক ও যন্ত্রপাতির নিরাপত্তা নিশ্চিত করা।
উপাদানসমূহ: এর মধ্যে রয়েছে গার্ড, জরুরি স্টপ বাটন এবং সেফটি ইন্টারলক ইত্যাদি।
সারসংক্ষেপ করুন।
ভ্যাকুয়াম কোটিং সরঞ্জাম এই উপাদানগুলির সমন্বিত কাজের মাধ্যমে উচ্চ-মানের পাতলা ফিল্ম জমা করার প্রক্রিয়াটি সম্পন্ন করে। এই মেশিনগুলি অপটিক্যাল, ইলেকট্রনিক, আলংকারিক এবং কার্যকরী পাতলা ফিল্ম তৈরিতে একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ২৩ জুলাই, ২০২৪