O masini e ufiufi ai le masini e fa'aaogaina ai le vacuum e masani ona faia i ni vaega autū se tele, e tofu ma lana lava galuega fa'apitoa, e galulue fa'atasi e ausia ai le fa'apipi'iina lelei ma tutusa o ata tifaga. O lo'o i lalo se fa'amatalaga o vaega autū ma a latou galuega:
Vaega Autū
Potu fa'amamago:
Galuega: Tu'uina atu se siosiomaga maualalo le mamafa po'o le maualuga o le gaogao e puipuia ai le mea ufiufi mai le tali atu ma mea leaga e lele i le ea i le taimi e fa'amamago ai pe feanu, ma fa'amautinoa ai le mama ma le lelei o le ata tifaga.
Fausaga: E masani ona faia i le u'amea e le pala po'o le alumini malosi, o le mamanu i totonu e amana'ia ai le tufatufaina o le ea ma le faigofie o le tu'uina o le mea pito i lalo.
Faiga o le pamu miti:
Galuega: E fa'aaogaina e pamu i fafo le kesi i totonu o le potu e fa'amamā ai le otaota ina ia ausia ai le tulaga mana'omia o le otaota.
Ituaiga: E aofia ai pamu fa'amekanika (e pei o pamu vane vili), pamu turbomolecular, pamu fa'asalalau ma pamu ion.
Puna o le fa'apuna o le ea po'o le puna o le fe'a'ei:
Galuega: fa'avevela ma fa'amamago le mea ufiufi e fausia ai se ausa po'o se plasma i totonu o se masini mitiia (vacuum).
Ituaiga: e aofia ai le puna o le vevela tete'e, le puna o le fa'amamago o le ave eletise, le puna o le fa'amamago o le magnetron ma le puna o le fa'amamago o le laser, ma isi.
O le mea e uu ai le substrate ma le masini e vili ai:
Galuega: Taofi mau le mea e ufiufi ai ma faʻamautinoa le tutusa o le faʻapipiʻiina o le mea e ufiufi ai i luga o le mea e ufiufi ai e ala i le faʻataʻamilomilo poʻo le oscillation.
FAUSAGA: E masani ona aofia ai fa'amau e mafai ona fetu'una'i ma masini e fa'ata'amilo/fa'aosofi e fa'afetaui ai mea o lo'o i lalo o foliga ma lapopo'a eseese.
Sapalai eletise ma le faiga pulea:
Galuega: Tu'uina atu le eletise i le puna o le fa'amamago, le puna o le pisipisia ma isi masini, ma pulea ai tapula'a o le faiga atoa o le ufiufi e pei o le vevela, le gaogao ma le taimi.
Vaega: E aofia ai sapalai o le eletise, paneli e pulea ai, faiga fa'akomepiuta e pulea ai, ma masini e mata'ituina ai.
Faiga Sapalai Kesi (mo masini ufiufi sputter):
Galuega: Sapalaiina o kasa e lē gaoioi (e pei o le argon) po'o kasa e tali atu (e pei o le okesene, nitrogen) e fa'atumauina ai se plasma pe auai i se tali fa'akemikolo e fa'atupu ai se ata manifinifi fa'apitoa.
Vaega: E aofia ai tane kesi, mea e pulea ai le tafe o le kesi, ma paipa e momoli ai le kesi.
Faiga Fa'amālūlū:
Galuega: fa'amālūlūina le mea e fa'a'ausa'a ai le ea, le mea e pisipisia ai le ea ma le potu e mitiia ai le vevela tele.
Ituaiga: e aofia ai faiga fa'amālūlū vai ma faiga fa'amālūlū ea, ma isi.
Faiga e mata'ituina ai ma iloa ai:
Galuega: Mata'ituina i le taimi moni o fa'asologa autu i le fa'agasologa o le ufiufi, e pei o le mafiafia o le ata tifaga, fua fa'atatau o le fa'aputuina, le gaogao ma le vevela, e fa'amautinoa ai le lelei o le ufiufi.
Ituaiga: e aofia ai le paleni o le quartz crystal, le mata'ituina o le mafiafia opitika ma le mea e iloilo ai le kesi o totoe, ma isi.
Meafaigaluega puipuia:
Galuega: Fa'amautinoa le saogalemu o tagata fa'agaoioia ma masini mai mea matautia e mafua mai i le vevela maualuga, voltage maualuga po'o siosiomaga e leai se eletise.
Vaega: E aofia ai leoleo, faamau e taofi ai faalavelave faafuasei ma loka saogalemu, ma isi mea faapena.
Aotele.
E fa'atino e masini e ufiufi ai le 'vacuum' le fa'agasologa o le fa'apipi'iina o ata manifinifi e maualuga le tulaga e ala i le galulue fa'atasi o nei vaega. E taua tele le sao o nei masini i le sauniaina o ata manifinifi opitika, eletise, teuteuga ma galuega.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Iulai-23-2024