Ko te ahuatanga matua o te tikanga whakaetonga korehau mo te whakatakoto i nga kiriata ko te nui o te whakahekenga. Ko te ahuatanga matua o te tikanga pupuhi ko te whanuitanga o nga rauemi kiriata e waatea ana me te pai o te rite o te paparanga kiriata, engari he iti te reeti whakaheke. Ko te paninga katote he tikanga e whakakotahi ana i enei tukanga e rua.
Tikanga paninga katote me nga tikanga hanga kiriata
Ko te kaupapa mahi o te paninga katote e whakaatuhia ana i te Pic. Ka pupuhihia te ruma korehau ki te pehanga i raro i te 10-4 Pa, ka whakakiia ki te hau inert (hei tauira, argon) ki te pehanga o 0.1 ~ 1 Pa. I muri i te ngaohiko DC kino o runga ki te 5 kV te tono ki te tïpako, he iti te pehanga hau tiaramatanga rere rohe plasma kua whakaritea i waenganui i te tïpako me te ipu. Ka whakaterehia nga katote hau mokowhiti e te papa hiko me te pupuhi i te mata o te taputapu, na reira ka horoi i te mata o te taputapu mahi. I muri i te otinga o tenei mahi horoi, ka timata te mahi whakakikorua ki te kohu o nga mea ka pania ki roto i te ipu. Ka uru atu nga matūriki kohu kohu ki roto i te rohe plasma ka tukituki ki nga katote pai me nga irahiko korekore kua wehea, ka wehe etahi o nga matūriki kohu ka pupuhihia te mea mahi me te mata paninga i raro i te whakaterenga o te papa hiko. I roto i te tukanga whakakikorua katote, ehara i te mea ko te waipara anake engari ko te pupuhi o nga katote pai i runga i te tïpako, na reira ka taea te hanga i te kiriata angiangi ina he nui ake te awenga o te waipara i te awe o te pupuhi.
Ko te tukanga whakakikorua katote, kei te pupuhi tonu te tïpako ki nga katote-kaha teitei, he tino ma, he maha nga painga i whakaritea ki te paninga pupuhi me te whakaetonga.
(1)Ka kaha te piri, karekau te paparanga paninga e tihorea ngawari.
(a) I roto i te tukanga whakakikorua katote, he maha nga matūriki hiko teitei i hangaia e te rere o te mura ka whakamahia ki te whakaputa i te paanga cathodic sputtering i runga i te mata o te tïpako, te pupuhi me te horoi i te hau me te hinu kua whakauruhia ki runga i te mata o te tïpako hei pure i te mata o te tïpako kia oti ra ano te tukanga paninga katoa.
(b) I te wa tuatahi o te paninga, te pupuhi me te noho tahi, ka taea te hanga i tetahi paparanga whakawhiti o nga waahanga i te atanga o te turanga kiriata, te ranunga ranei o te mea kiriata me te mea turanga, e kiia ana ko "paparanga pseudo-diffusion", ka taea te whakapai ake i te mahi adhesion o te kiriata.
(2) He pai te takai a tawhio noa. Ko tetahi take he katote nga ngota rauemi whakakikorua i raro i te pehanga teitei me te tukinga ki nga ngota ngota hau i nga wa maha i te wa e tae atu ai ki te tïpako, kia marara ai nga katote mea paninga huri noa i te tïpako. I tua atu, ka whakatakotoria nga ngota rauemi whakakikorua katote i runga i te mata o te tïpako i raro i te mahi a te papa hiko, na reira ka tukuna te tïpako katoa ki te kiriata kikokore, engari kaore e taea e te paninga whakaetonga te whakatutuki i tenei paanga.
(3) Ko te kounga teitei o te paninga na te pupuhi o te condensates i puta mai i te pupuhi tonu o te kiriata kua tukuna me nga katote pai, e whakapai ake ana i te kiato o te paparanga paninga.
(4)Ka taea te whakakikorua i te maha o nga rauemi whakakikorua me nga taputapu ki runga i nga mea whakarewa, kore-whakarewa ranei.
(5)I whakaritea ki te waipara kohu matū (CVD), he iti ake te pāmahana o te tïpako, i raro iho i te 500°C, engari he rite tonu te kaha o te piri ki nga kiriata waipara matū.
(6) He nui te reiti waipara, he tere te hanga kiriata, ka taea te whakakikorua i te matotoru o nga kiriata mai i te tekau nanometer ki te microns.
Ko nga ngoikoretanga o te paninga katote: ko te matotoru o te kiriata kaore e taea te whakahaere tika; he tiketike te kukū o nga hapa ka hiahiatia te paninga pai; ka uru nga hau ki te mata i te wa e pania ana, ka huri i nga ahuatanga o te mata. I etahi wa, ka hanga ano nga kohao me nga karihi (iti iho i te 1 nm).
Ko te reiti waipara, he rite ki te tikanga whakaetonga te paninga katote. Mo te kounga o te kiriata, ko nga kiriata i hangaia e te paninga katote he tata, he pai ake ranei i era i mahia ma te pupuhi.
Wā tuku: Noema-08-2022