Ko nga ahuatanga o te whakakikorua o te magnetron sputtering
(3) He iti te pupuhi o te kaha. Na te iti o te ngaohiko cathode e whakamahia ana ki te whaainga, ka herea te plasma e te papa autō i roto i te waahi e tata ana ki te cathode, na reira ka aukati i nga matūriki kua utaina te kaha ki te taha o te tangata substrate. No reira, he iti iho te tohu o te kino o te tïpako përä i nga taputapu semiconductor na te pupuhi matūriki i utaina he iti iho i tera i puta mai i etahi atu tikanga pupuhi.
(4) He iti te pāmahana tïpako. He nui te tere o te pupuhi a Magnetron, na te mea ko te whaainga o te cathode i roto i te papa autō i roto i te rohe, ara, ko te rerenga rerenga whainga i roto i te waahi iti o te kuhanga irahiko he tiketike, i te mea kei roto i te paanga autō i waho o te rohe, ina koa kei tawhiti atu i te papa autō o te mata tïpako e tata ana, ko te kukū irahiko na te mararatanga o te iti rawa atu o te hau, a ka iti ake pea te pehanga o te pehanga o te hau. o te raupapa o te nui). No reira, i raro i nga ahuatanga o te magnetron sputtering, ko te kukū o nga irahiko e pupuhi ana i te mata o te taputapu he iti rawa atu i tera i roto i te diode sputtering noa, a ka karohia te pikinga nui o te pāmahana tïpako na te hekenga o te maha o nga irahiko mai i te taputapu. I tua atu, i roto i te tikanga o te magnetron sputtering, ka taea te noho i te anode o te taputapu magnetron sputtering huri noa i te takiwa o te cathode, a ka taea hoki te koretake o te kaipupuri o te tïpako me te kaha whakatārewatanga, kia kore ai nga irahiko e puta i roto i te kaipupuri papaa whenua me te rere atu i roto i te anode, na reira ka nui ake te kaha o nga irahiko hiko ki te whakaheke i te wera o te taputapu, na te mea ka whakahekehia te wera o te taputapu hiko, ka whakaheke i te wera o te papaariki, ka whakaheke i te wera o te taputapu. he nui te whakakore i te poma irahiko tuarua o te tïpako ka puta te whakangao wera.
(5) Kore orite te tuhi o te whainga. I roto i te ūnga magnetron sputtering tuku iho, te whakamahi o te mara autō pāhiwihiwi, na te plasma ka whakaputa i te pānga convergence rohe, ka meinga te ūnga i runga i te tūnga o te rohe o te reiti etching sputtering he nui, ko te hua ko e te ūnga ka whakaputa i te etching pāhiwihiwi nui. Ko te reiti whakamahi o te whaainga ko te nuinga o te 30%. Hei whakapai ake i te tere o te whakamahi o te rauemi i whäia, ka taea e koe te whai i nga momo tikanga whakapai ake, penei i te whakapai ake i te ahua me te tohatoha o te papa autō whainga, kia taea ai e te aukume i roto i te kaupapa cathode te kaupapa o roto me etahi atu.
He uaua ki te pupuhi i nga whaainga rauemi autō. Mēnā he mea hanga te whainga pupuhi i te mea he teitei te uruhanga autō, ka haere tika nga raina autō o te kaha ki roto o te whainga kia puta mai he ahuatanga aahiko-poto, na reira ka uaua te rere o te magnetron. Hei whakaputa i te papa autō mokowhiti, he maha nga rangahau i mahia e te tangata, hei tauira, ki te whakakii i te papa autō i roto i te taonga i whaaia, ka waiho he maha nga aputa i roto i te whaainga ki te whakatairanga i te whakatipuranga o te pikinga o te pikinga o te pāmahana taumata autō, ki te whakaiti ranei i te uruhanga autō o te rauemi i whäia.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Tihema-01-2023