Ny fitsipiky ny vacuum evaporation coating
1, fitaovana sy dingana ara-batana ny banga etona coating
Ny fitaovana fametahana etona amin'ny vacuum dia ahitana efitrano banga sy rafitra fandroahana. Ao anatin'ny efitrano banga dia misy loharano etona (izany hoe evaporation heater), substrate sy substrate frame, substrate heater, exhaust system, sns.
Ny fitaovana coating dia apetraka ao amin'ny loharano etona ao amin'ny efitrano banga, ary eo ambanin'ny toe-javatra banga avo, dia nafanaina avy amin'ny loharano etona mba hihena. Raha ny salan'isa maimaim-poana amin'ny molekiolan'ny etona dia lehibe kokoa noho ny haben'ny efitrano banga, taorian'ny nandosiran'ny atôma sy ny molekiola ny etona film avy amin'ny etona loharanon'ny etona, dia zara raha voasakana ny fifandonan'ny molekiola na atôma hafa, ary tonga mivantana amin'ny substrate ho rakotra. Noho ny mari-pana ambany amin'ny substrate, ny vovon-tsavony amin'ny sarimihetsika dia mipoitra eo aminy ary mamorona sarimihetsika.
Mba hanatsarana ny adhesion ny etona molekiola sy ny substrate, ny substrate dia azo mavitrika amin'ny fanafanana mety na ion fanadiovana. Ny coating vacuum evaporation dia mandalo amin'ireto dingana ara-batana manaraka ireto manomboka amin'ny etona ara-materialy, ny fitaterana mankany amin'ny fametrahana ao anaty sarimihetsika.
(1) Amin'ny fampiasana fomba isan-karazany hanovana endrika angovo hafa ho angovo mafana, ny akora sarimihetsika dia mafana mba hihena na hihena ho poti-gazy (atôma, molekiola na cluster atomika) miaraka amin'ny angovo (0.1 hatramin'ny 0.3 eV).
(2) Ny poti-gazy dia miala amin'ny endriky ny sarimihetsika ary entina eny ambonin'ny substrate amin'ny hafainganam-pandehan'ny fihetsiketsehana, indrindra tsy misy fifandonana, amin'ny tsipika mahitsy.
(3) Ny poti-gazety tonga eny ambonin'ny substrate dia mitambatra sy niokleary, ary avy eo dia mitombo ho sarimihetsika matevina.
(4) Fanavaozana na fatorana simika amin'ireo atôma mandrafitra ilay sarimihetsika.
2, fanafanana etona
(1) fanoherana fanafanana etona
Fanoherana fanafanana etona no tsotra indrindra sy matetika ampiasaina fanafanana fomba, amin'ny ankapobeny azo ampiharina amin'ny coating fitaovana amin'ny mitsonika teboka ambanin'ny 1500 ℃, avo lenta metaly amin'ny tariby na ravin endrika (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, sns) dia matetika natao ho mety endrika etona loharanon-karena, feno etona fitaovana etona, amin'ny alalan'ny ny etona na ny fitaovana etona amin'ny alalan'ny etona ny Joule hafanana ny fitaovana, amin'ny alalan'ny etona na ny joule. Ny endriky ny loharano etona indrindra dia ahitana miolakolaka multi-strand, U-miendrika, onja sinema, takelaka manify, sambo, cone harona, sns. Amin'izay fotoana izay, ny fomba dia mitaky ny etona loharanon-karena fitaovana mba manana avo lenta, ambany saturation etona tsindry, miorina amin'ny toetra simika, tsy manana fanehoan-kevitra simika amin'ny coating fitaovana amin'ny hafanana avo, hafanana tsara fanoherana, fiovana kely eo amin'ny hery etona hakitroky ny ankehitriny, sns mba hanangana ny etona hakitroky ny fitaovana, sns. amin'ny alalan'ny fanafanana mivantana, na mametraka ny sarimihetsika fitaovana ao amin'ny crucible vita amin'ny graphite sy ny mari-pana ambony sasany oxides vy mahatohitra (toy ny A202, B0) sy ny fitaovana hafa ho an'ny indirect fanafanana mba etona.
Misy fetrany ny fanoheran'ny fanafanana evaporation coating: ny metaly refractory dia manana tsindry etona ambany, izay sarotra ny manamboatra sarimihetsika manify; ny singa sasany dia mora ny mamorona firaka amin`ny tariby fanafanana; tsy mora ny mahazo fitambarana fanamiana ny sarimihetsika firaka. Noho ny rafitra tsotra, ny vidiny ambany sy ny fampandehanana mora ny fanoherana fanafanana etona fomba, dia tena mahazatra fampiharana ny fomba etona.
(2) Etona fanafanana taratra electron
Ny fandotoana ny taratra elektrôna dia fomba iray amin'ny fandotoana ny akora fanosotra amin'ny alàlan'ny daroka baomba azy amin'ny taratra elektronika avo lenta amin'ny alàlan'ny fametrahana azy ao anaty vilia varahina mangatsiaka rano. Ny loharanon'ny evaporation dia misy loharanom-pamokarana elektronika, loharanon-kery manafaingana ny elektrôna, koveta (matetika koveta varahina), coil sahan'andriamby, ary fametrahana rano mangatsiaka, sns. Ao anatin'ity fitaovana ity, ny fitaovana mafana dia apetraka ao anaty vata fampangatsiahana rano, ary ny ampahany kely amin'ny akora sisa tavela ihany no baomba ny taratra elektrôna. crucible, izay azo raisina ho toy ny ampahany baomba amin'ny crucible. Noho izany, ny fomba fanafanana taratra elektronika ho etona dia afaka misoroka ny loto eo amin'ny coating fitaovana sy ny etona loharanon-karena.
Ny firafitry ny loharanom-etona elektrôna taratra dia azo zaraina ho telo karazana: basy mahitsy (Boules basy), peratra basy (elektronika deflected) ary e-basy (magnetically deflected). Ny koba iray na maromaro dia azo apetraka ao amin'ny toeram-pivoahana etona, izay afaka mandona sy mametraka akora maro samihafa miaraka na misaraka.
Ny loharanon'ny etona taratra elektrôna dia manana tombony manaraka.
①Ny hakitroky ny taratra avo ny loharanon'ny etona baomba baomba elektronika dia afaka mahazo hakitroky angovo lavitra kokoa noho ny loharano fanafanana fanoherana, izay afaka etona fitaovana avo lenta, toy ny W, Mo, Al2O3, sns.
②Ny fitaovana coating dia apetraka ao anaty vilia varahina mangatsiatsiaka amin'ny rano, izay afaka misoroka ny etona ny fitaovana loharanon'ny etona, ary ny fihetsik'izy ireo.
③Ny hafanana dia azo ampiana mivantana eo amin'ny endrik'ilay akora fanosotra, izay mahatonga ny fahombiazan'ny hafanana ambony ary ny fahaverezan'ny fampitaovana hafanana sy ny taratra hafanana ambany.
Ny tsy fahampian'ny fomba fandoroana ny taratra elektronika dia ny elektronika voalohany avy amin'ny basy elektrôna sy ny elektronika faharoa avy amin'ny etỳ ambonin'ny akora fanosotra dia ionize ny atoma etona sy ny molekiola entona sisa, izay hisy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny sarimihetsika indraindray.
(3) High frequency induction fanafanana etona
Ny etona fanafanana induction avo lenta dia ny fametrahana ny koveta miaraka amin'ny fitaovana fametahana eo afovoan'ny coil miolikolika avo lenta, mba hahatonga ny fitaovana fametahana mamokatra eddy mahery sy hysteresis amin'ny alàlan'ny induction ny saha elektromagnetika avo lenta, izay mahatonga ny sarimihetsika ho mafana mandra-pahatongan'ny etona sy etona. Ny loharanon'ny evaporation amin'ny ankapobeny dia misy coil fandrefesana avo lenta amin'ny rano sy grafita na seramika (oksidana manezioma, oksida aluminium, oksida boron, sns.). Ny famatsiana herinaratra avo lenta dia mampiasa matetika 10.000 ka hatramin'ny 100.000 Hz, ny herin'ny fidirana dia kilowatts maromaro ka hatramin'ny zato, ny kely kokoa ny habetsaky ny fitaovana membrane, ny avo kokoa ny induction matetika. Ny fatran'ny induction coil dia matetika vita amin'ny fantsona varahina mangatsiaka.
Ny tsy fahampian'ny fomba fanamainana induction avo lenta dia tsy mora ny manitsy tsara ny herin'ny fampidirana, manana tombony manaraka izy.
①Avo ny tahan'ny etona
②Ny mari-pana amin'ny loharanon'ny etona dia fanamiana sy miorina tsara, noho izany dia tsy mora ny mamokatra ny fisehoan-javatra amin'ny fiparitahan'ny ranon-tsavony, ary afaka misoroka ny fisehoan'ny pinholes amin'ny sarimihetsika napetraka.
③Ny loharano etona dia feno indray mandeha, ary ny mari-pana dia somary mora sy mora ny mifehy.
Fotoana fandefasana: Oct-28-2022