Iekārta izmanto elektronu staru iztvaikošanas tehnoloģiju. No katoda kvēldiega tiek izstaroti elektroni, kas fokusēti noteiktā staru strāvā, ko paātrina potenciāls starp katodu un tīģeli, lai izkausētu un iztvaicētu pārklājuma materiālu. Tai ir augsts enerģijas blīvums, un tā var iztvaicēt pārklājuma materiālu ar kušanas temperatūru virs 3000 ℃. Plēvei ir augsta tīrība un augsta termiskā efektivitāte.
Iekārta ir aprīkota ar elektronu staru iztvaikošanas avotu, jonu avotu, plēves biezuma uzraudzības sistēmu, plēves biezuma korekcijas struktūru un stabilu lietussarga sagataves rotācijas sistēmu. Pateicoties jonu avota atbalstītajai pārklājuma uzklāšanai, tiek palielināta plēves kompaktums, stabilizēts refrakcijas indekss un novērsta viļņa garuma nobīdes parādība mitruma dēļ. Pilnībā automātiskā plēves biezuma reāllaika uzraudzības sistēma var nodrošināt procesa atkārtojamību un stabilitāti. Tā ir aprīkota ar paškušanas funkciju, lai samazinātu atkarību no operatora prasmēm.
Iekārta ir izmantojama dažādiem oksīdiem un metāla pārklājuma materiāliem, un to var pārklāt ar daudzslāņu precīzām optiskām plēvēm, piemēram, AR plēvi, garviļņu caurlaidību, īsviļņu caurlaidību, spilgtuma plēvi, AS/AF plēvi, IRCUT, krāsu plēvju sistēmu, gradientu plēvju sistēmu utt. To plaši izmanto AR brillēs, optiskajās lēcās, kamerās, optiskajās lēcās, filtros, pusvadītāju rūpniecībā utt.