Magnetroninio purškimo dangos charakteristikos
(3) Mažos energijos purškimas. Dėl žemos katodo įtampos, taikomos taikiniui, plazma yra surišta magnetinio lauko katodo aplinkoje, todėl slopinamas didelės energijos įkrautų dalelių patekimas į substrato pusę. Todėl įkrautų dalelių bombardavimo metu substrato, pvz., puslaidininkinių įtaisų, pažeidimo laipsnis yra mažesnis nei kitų purškimo metodų.
(4) Žema substrato temperatūra. Magnetroninio dulkinimo greitis yra didelis, nes katodo taikinio magnetinio lauko srityje, t. y. taikinio iškrovimo tako srityje, yra didelė elektronų koncentracija. Tuo tarpu magnetinio poveikio srityje, ypač toli nuo magnetinio lauko, esančio netoliese esančiame substrato paviršiuje, elektronų koncentracija dėl sklaidos yra daug mažesnė ir gali būti net mažesnė nei dipolinio dulkinimo metu (dėl dviejų darbinių dujų slėgio skirtumo, kuris yra maždaug eilės dydžio). Todėl magnetroninio dulkinimo sąlygomis substrato paviršių bombarduojančių elektronų koncentracija yra daug mažesnė nei įprasto diodinio dulkinimo metu, o substrato temperatūra per daug nepakyla dėl sumažėjusio ant substrato krintančių elektronų skaičiaus. Be to, magnetroninio purškimo metodu magnetroninio purškimo įrenginio anodas gali būti išdėstytas aplink katodą, o substrato laikiklis taip pat gali būti neįžemintas ir suspensijos potenciale, kad elektronai negalėtų praeiti pro įžemintą substrato laikiklį ir nutekėti per anodą, taip sumažinant padengtą substratą bombarduojančių didelės energijos elektronų skaičių, sumažinant elektronų sukeltą substrato šilumos padidėjimą ir labai susilpninant antrinį substrato elektronų bombardavimą, dėl kurio susidaro šiluma.
(5) Netolygus taikinio ėsdinimas. Tradiciniame magnetroniniame dulkinimo taikinyje naudojamas netolygus magnetinis laukas, todėl plazma sukuria vietinį konvergencijos efektą, todėl taikinio vietinė dulkinimo ėsdinimo padėtis yra didelė, todėl taikinys bus ėsdinamas labai netolygiai. Taikinio panaudojimo koeficientas paprastai yra apie 30 %. Norint pagerinti taikinio medžiagos panaudojimo koeficientą, galima imtis įvairių tobulinimo priemonių, pavyzdžiui, pagerinti taikinio magnetinio lauko formą ir pasiskirstymą, kad magnetas judėtų taikinio katodo viduje ir pan.
Magnetinių medžiagų taikinių purškimo sudėtingumas. Jei purškimo taikinys pagamintas iš medžiagos, turinčios didelį magnetinį pralaidumą, magnetinės jėgos linijos tiesiogiai pereis taikinio vidų ir sukels magnetinio trumpojo jungimo reiškinį, todėl magnetroninis išlydis bus sunkus. Siekdami sukurti erdvinį magnetinį lauką, žmonės atliko įvairius tyrimus, pavyzdžiui, siekdami prisotinti magnetinį lauką taikinio medžiagos viduje, palikdami daug tarpų taikinyje, kad padidėtų magnetinio taikinio temperatūra ir susidarytų didesnis nuotėkis, arba siekdami sumažinti taikinio medžiagos magnetinį pralaidumą.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 1 d.