1. Lanko šviesos elektronų srauto charakteristikos
Lankinio išlydžio generuojamoje lanko plazmoje elektronų srauto, jonų srauto ir didelės energijos neutralių atomų tankis yra daug didesnis nei rusenančiojo išlydžio. Dengimo erdvėje yra daugiau jonizuotų dujų jonų ir metalų jonų, sužadintų didelės energijos atomų ir įvairių aktyviųjų grupių, kurios atlieka svarbų vaidmenį dengimo proceso kaitinimo, valymo ir dengimo etapuose. Lankinio elektronų srauto veikimo forma skiriasi nuo jonų pluošto, ne visi jie konverguoja į „pluoštą“, o dažniausiai yra divergentinėje būsenoje, todėl tai vadinama lanko elektronų srautu. Kadangi lanko elektronai teka link anodo, lanko elektronų srautas nukreipiamas ten, kur prijungtas teigiamas lanko maitinimo šaltinio elektrodas, o anodas gali būti ruošinys, pagalbinis anodas, tiglis ir kt.
2. Lankinio elektronų srauto generavimo metodas
(1) Dujų šaltinis generuoja lanko elektronų srautą: tuščiavidurio katodo lanko išlydžio ir karštosios vielos lanko išlydžio lanko srovė gali siekti apie 200 A, o lanko įtampa yra 50–70 V.
(2) Kietojo kūno šaltinis generuoja lanko elektronų srautą: katodo lanko šaltinis, įskaitant mažo lanko šaltinį, cilindrinio lanko šaltinį, stačiakampio plokštumos didelio lanko šaltinį ir kt. Kiekvieno katodo lanko šaltinio išlydžio lanko srovė yra 80–200 A, o lanko įtampa – 18–25 V.
Didelio tankio ir mažos energijos lanko elektronų srautas dviejų tipų lanko išlydžio plazmose gali sukelti intensyvią susidūrimo jonizaciją su dujų ir metalo plėvelės atomais, gaunant daugiau dujų jonų, metalo jonų ir įvairių didelės energijos aktyviųjų atomų bei grupių, taip pagerinant bendrą plėvelės sluoksnio jonų aktyvumą.
– Šį straipsnį paskelbė Guangdong Zhenhua, avakuuminio dengimo mašinų gamintojas
Įrašo laikas: 2023 m. gegužės 31 d.