1. Charakteristike vum Elektronenstroum vum Bougliicht
D'Dicht vum Elektronestroum, Ionenstroum an den héichenergetesche neutralen Atomer am Bouplasma, déi duerch Bouentladung generéiert ginn, ass vill méi héich wéi déi vun der Glühentladung. Et gi méi Gasionen a Metallionen ioniséiert, ugereegt héichenergetesch Atomer a verschidde aktiv Gruppen am Beschichtungsraum, déi eng wichteg Roll an den Heiz-, Reinigungs- a Beschichtungsstadien vum Beschichtungsprozess spillen. D'Wierkungsform vum Bouelektronestroum ass anescht wéi déi vum Ionenstrahl, net all konvergéieren zu engem "Strahl", mä meeschtens an engem divergenten Zoustand, dofir gëtt et Bouelektronestroum genannt. Well Bouelektronen a Richtung Anode fléissen, gëtt de Bouelektronestroum dohi geriicht, wou déi positiv Elektrod vun der Boustroumversuergung ugeschloss ass, an d'Anode kann e Werkstéck, eng Hëllefsanod, en Tiegel, etc. sinn.
2. Method fir de Bouelektronenstroum ze generéieren
(1) D'Gasquell generéiert e Bouelektronenstroum: de Boustroum vun der Bouentladung duerch d'Hohlkathode an d'Bounentladung duerch den Heissdrot kann ongeféier 200A erreechen, an d'Bouspannung ass 50-70V.
(2) Fest Quell generéiert e Bouelektronenstroum: Kathodebouquell, dorënner kleng Bouquell, zylindresch Bouquell, rechteckeg flaach grouss Bouquell, etc. De Boustroum vun all Kathodebouquellentladung ass 80-200A, an d'Bougspannung ass 18-25V.
De Bouelektronenfloss mat héijer Dicht an niddreger Energie an zwou Zorte vu Bouentladungsplasmae kann eng intensiv Kollisiounsioniséierung mat Gas- a Metallfilmatome generéieren, wouduerch méi Gasionen, Metallionen a verschidden héichenergetesch aktiv Atomer a Gruppen entstinn, wouduerch d'Gesamtaktivitéit vun den Filmschicht-Ionen verbessert gëtt.
–Dësen Artikel gouf vum Guangdong Zhenhua publizéiert, engemHiersteller vu Vakuumbeschichtungsmaschinnen
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 31. Mee 2023