D'Ausrüstung benotzt d'Technologie vun der Elektronestrahlverdampfung. Elektrone ginn aus dem Kathodefilament emittéiert a konzentréiert sech op e bestëmmte Stralstroum, deen duerch de Potenzial tëscht der Kathod an dem Tiegel beschleunegt gëtt, fir d'Beschichtungsmaterial ze schmëlzen an ze verdampfen. Et huet d'Charakteristike vun enger héijer Energiedicht a kann d'Beschichtungsmaterial mat engem Schmelzpunkt vu méi wéi 3000 ℃ verdampfen. De Film huet eng héich Rengheet an eng héich thermesch Effizienz.
D'Ausrüstung ass mat enger Elektronestrahlverdampfungsquell, enger Ionenquell, engem Filmdicke-Iwwerwaachungssystem, enger Filmdicke-Korrekturstruktur an engem stabile Paraplu-Wierkstéck-Rotatiounssystem ausgestatt. Duerch d'Beschichtung mat Hëllef vun der Ionenquell gëtt d'Kompaktheet vum Film erhéicht, de Breechungsindex stabiliséiert an de Phänomen vun der Wellelängteverschiebung duerch Fiichtegkeet vermeit. Dat vollautomatescht Echtzäit-Iwwerwaachungssystem fir d'Filmdicke kann d'Widderhuelbarkeet a Stabilitéit vum Prozess garantéieren. Et ass mat enger Selbstschmelzfunktioun ausgestatt, fir d'Ofhängegkeet vun de Fäegkeete vum Bedreiwer ze reduzéieren.
D'Ausrüstung ass op verschidden Oxiden a Metallbeschichtungsmaterialien uwendbar a kann mat méischichtege Präzisiounsoptikfilmer beschichtet ginn, wéi AR-Film, Langwellenduerchlaaf, Kuerzwellenduerchlaaf, Ophellfilm, AS/AF-Film, IRCUT, Faarffilmsystem, Gradientfilmsystem, etc. Et gouf wäit verbreet an AR-Brëller, optesche Lënsen, Kameraen, optesche Lënsen, Filteren, Hallefleederindustrien, etc. benotzt.