Taybetmendiya sereke ya rêbaza buharkirina valahiyê ji bo danîna fîlman rêjeya bilind a danînê ye. Taybetmendiya sereke ya rêbaza sputterkirinê cûrbecûr materyalên fîlmê yên berdest û yekrengiya baş a qata fîlmê ye, lê rêjeya danînê kêm e. Pêçandina îyonan rêbazek e ku van her du pêvajoyan bi hev re dike yek.
Prensîba pêçandina îyonan û şert û mercên çêbûna fîlmê
Prensîba xebatê ya pêçandina îyonan di Wêneyê de tê nîşandan. Odeya valahiyê heta zextek li jêr 10-4 Pa tê pompekirin, û dûv re bi gaza bêbandor (mînak argon) heta zextek 0.1~1 Pa tê dagirtin. Piştî ku voltaja DC ya neyînî heta 5 kV li ser substratê tê sepandin, herêmeke plazmaya derxistina gaza bi zexta nizm di navbera substrat û xaçerêyê de tê ava kirin. Îyonên gaza bêbandor ji hêla qada elektrîkê ve têne lezandin û rûyê substratê bombebaran dikin, bi vî rengî rûyê perçeya kar paqij dikin. Piştî ku ev pêvajoya paqijkirinê qediya, pêvajoya pêçandinê bi buharkirina materyalê ku di xaçerêyê de were pêçandin dest pê dike. Perçeyên buharê yên buharbûyî dikevin herêma plazmayê û bi îyon û elektronên erênî yên bêbandor ên veqetandî re li hev dikevin, û hin ji perçeyên buharê veqetiyan û perçeya kar û rûyê pêçandinê di bin lezandina qada elektrîkê de bombebaran dikin. Di pêvajoya pêçandina îyonan de, ne tenê danîn lê di heman demê de sputterkirina îyonên erênî li ser substratê jî heye, ji ber vê yekê fîlima zirav tenê dikare were çêkirin dema ku bandora danînê ji bandora sputterkirinê mezintir be.
Pêvajoya pêçandina bi îyonan, ku tê de substrat her tim bi îyonên enerjiya bilind tê bombebaran kirin, pir paqij e û li gorî pêçandina bi sputterkirin û buharkirinê gelek avantajên wê hene.
(1) Pêveka bihêz, qata pêçandinê bi hêsanî naqelişe.
(a) Di pêvajoya pêçandina îyonî de, hejmareke mezin ji perçeyên enerjiya bilind ên ku ji ber derxistina şewqê çêdibin, têne bikar anîn da ku bandorek sputterkirina katodîk li ser rûyê substratê çêbikin, gaz û rûnê ku li ser rûyê substratê hatine mêşandin, sputterkirin û paqijkirin da ku rûyê substratê paqij bikin heya ku tevahiya pêvajoya pêçandinê biqede.
(b) Di qonaxa destpêkê ya pêçandinê de, sputtering û depokirin bi hev re hene, ku dikarin li ser rûbera bingeha fîlmê qatek veguhêz a pêkhateyan an jî tevlîheviyek ji materyalê fîlmê û materyalê bingehîn, ku jê re "qata pseudo-belavbûnê" tê gotin, ava bikin, ku dikare bi bandor performansa zeliqandina fîlmê baştir bike.
(2)Taybetmendiyên baş ên pêçandinê. Sedemek ev e ku atomên materyalê pêçandinê di bin zexta bilind de têne iyonîzekirin û di dema gihîştina substratê de çend caran bi molekulên gazê re li hev dikevin, ji ber vê yekê iyonên materyalê pêçandinê dikarin li dora substratê belav bibin. Wekî din, atomên materyalê pêçandinê yên iyonîzekirî di bin bandora zeviya elektrîkê de li ser rûyê substratê têne danîn, ji ber vê yekê tevahiya substratê bi fîlimek zirav tê danîn, lê pêçandina buharbûnê nikare vê bandorê bi dest bixe.
(3) Kalîteya bilind a pêçanê ji ber belavbûna kondensatan e ku ji ber bombebarana domdar a fîlma razayî bi iyonên erênî çêdibe, ku dendika qata pêçanê baştir dike.
(4) Gelek cûrbecûr materyalên pêçandinê û substratan dikarin li ser materyalên metalîk an ne-metalîk werin pêçandin.
(5) Li gorî danîna buhara kîmyewî (CVD), germahiya substratê wê nizmtir e, bi gelemperî di bin 500°C de ye, lê hêza wê ya zeliqandinê bi tevahî dişibihe fîlmên danîna buhara kîmyewî.
(6) Rêjeya bilind a depokirinê, avakirina fîlmê bilez, û qalindahiya pêçandina fîlman dikare ji deh nanometreyan heta mîkronan be.
Dezawantajên pêçandina bi îyonan ev in: qalindahiya fîlmê bi awayekî rast nayê kontrol kirin; dema ku pêçandina nazik hewce be, rêjeya kêmasiyan zêde ye; û di dema pêçandinê de gaz dê bikevin rûyê erdê, ku dê taybetmendiyên rûyê biguhezîne. Di hin rewşan de, kavil û navik (kêmtir ji 1 nm) jî çêdibin.
Ji aliyê rêjeya danîna avê ve, pêçandina bi îyonan bi rêbaza buharkirinê re dişibihe. Ji aliyê kalîteya fîlmê ve, fîlmên ku bi pêçandina bi îyonan têne hilberandin nêzîkî yên ku bi sputterkirinê têne amadekirin an jî çêtir in.
Dema weşandinê: 08-11-2022