Taybetmendiyên pêçandina sputterkirina magnetronê
(3) Sputterkirina enerjiya kêm. Ji ber voltaja katodê ya nizm a ku li hedefê tê sepandin, plazma ji hêla qada magnetîkî ya di valahiya nêzîkî katodê de ve girêdayî ye, bi vî rengî perçeyên barkirî yên enerjiya bilind ber bi aliyê substratê ve ku mirov lê gulebaran dikin asteng dike. Ji ber vê yekê, asta zirara li ser substratê wekî cîhazên nîvconductor ên ji ber bombebarana perçeyên barkirî ji ya ku ji hêla rêbazên din ên sputterkirinê ve çêdibe kêmtir e.
(4) Germahiya substratê nizm. Rêjeya sputterkirina magnetronê bilind e, ji ber ku hedefa katodê di nav qada magnetîkî ya herêmê de, ango rêgeha derxistina hedefê di nav deverek piçûk a herêmî de, rêjeya elektronan zêde ye, lê di bandora magnetîkî ya li derveyî herêmê de, nemaze dûrî qada magnetîkî ya rûyê substratê yê nêzîk, rêjeya elektronan ji ber belavbûna wê pir kêmtir e, û dibe ku ji sputterkirina dîpolê jî kêmtir be (ji ber cûdahiya zexta di navbera du gazên xebatê de ji rêzek mezinahî). Ji ber vê yekê, di bin şert û mercên sputterkirina magnetronê de, rêjeya elektronên ku rûyê substratê bombebaran dikin ji ya sputterkirina dîyodê ya asayî pir kêmtir e, û ji ber kêmbûna hejmara elektronên ku li ser substratê dikevin, zêdebûnek zêde ya germahiya substratê tê asteng kirin. Herwiha, di rêbaza sputterkirina magnetronê de, anoda cîhaza sputterkirina magnetronê dikare li dora katodê were bicihkirin, û girtina substratê jî dikare bêerd be û di potansiyela daliqandinê de be, da ku elektron ji girtina substratê ya erdî derbas nebin û ji anodê dûr bikevin, bi vî rengî elektronên enerjiya bilind ên ku substrata pêçayî bombebaran dikin kêm dibe, zêdebûna germahiya substratê ya ji hêla elektronan ve çêdibe kêm dike, û bombebarana elektronên duyemîn a substratê ku dibe sedema çêbûna germê pir kêm dike.
(5) Gravkirina neyeksan a hedefê. Di hedefa sputterkirina magnetronê ya kevneşopî de, karanîna zeviyek magnetîkî ya neyeksan, da ku plazma bandorek konverjansa herêmî çêbike, dê rêjeya gravkirina sputterkirinê li ser pozîsyona herêmî ya hedefê mezin bike, encam ev e ku hedef dê gravkirinek neyeksan a girîng çêbike. Rêjeya karanîna hedefê bi gelemperî nêzîkî 30% e. Ji bo baştirkirina rêjeya karanîna materyalê hedefê, hûn dikarin cûrbecûr tedbîrên başkirinê bigirin, wekî baştirkirina şekil û belavkirina zeviya magnetîkî ya hedefê, da ku tevgera navxweyî ya magnetê di katoda hedefê de û hwd.
Zehmetiya di avêtina hedefên materyalên magnetîkî de. Ger hedefa avêtinê ji materyalek bi permeabilîteya magnetîkî ya bilind hatibe çêkirin, xetên hêza magnetîkî dê rasterast ji hundirê hedefê derbas bibin û diyardeyek kurt-kurteçûna magnetîkî çêbibe, bi vî rengî derxistina magnetronê dijwar dike. Ji bo çêkirina zeviya magnetîkî ya fezayê, mirovan gelek lêkolîn kirine, mînakî, ji bo têrkirina zeviya magnetîkî ya di hundurê materyalê hedef de, gelek valahî di hedefê de hiştine da ku hilberîna rijandina bêtir a germahiya hedefa magnetîkî zêde bibe, an jî ji bo kêmkirina permeabilîteya magnetîkî ya materyalê hedef.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema şandinê: Kanûn-01-2023