이 장비는 전자빔 증착 기술을 채택했습니다. 음극 필라멘트에서 방출된 전자가 특정 빔 전류로 집속되고, 이 빔 전류는 음극과 도가니 사이의 전위에 의해 가속되어 코팅 재료를 용융 및 증발시킵니다. 높은 에너지 밀도의 특성을 가지며, 3000℃ 이상의 융점에서 코팅 재료를 증발시킬 수 있습니다. 박막은 고순도와 높은 열효율을 보입니다.
본 장비는 전자빔 증발원, 이온원, 박막 두께 모니터링 시스템, 박막 두께 보정 구조, 그리고 안정적인 엄브렐라 소재 회전 시스템을 갖추고 있습니다. 이온원 보조 코팅을 통해 박막의 치밀성을 높이고, 굴절률을 안정화하며, 수분으로 인한 파장 이동 현상을 방지합니다. 전자동 박막 두께 실시간 모니터링 시스템은 공정의 반복성과 안정성을 보장합니다. 또한, 자가 용융 기능을 탑재하여 작업자의 숙련도에 대한 의존도를 낮춥니다.
본 장비는 각종 산화물 및 금속 코팅 재료에 적용 가능하며, AR 필름, 장파장 통과 필름, 단파장 통과 필름, 광택 필름, AS/AF 필름, IRCUT, 컬러 필름 시스템, 그라데이션 필름 시스템 등 다층 정밀 광학 필름으로 코팅할 수 있습니다. AR 안경, 광학 렌즈, 카메라, 광학 렌즈, 필터, 반도체 산업 등에서 널리 사용되고 있습니다.