ហេតុអ្វីបានជាត្រូវប្រើម៉ាស៊ីនបូមធូលី?
ការទប់ស្កាត់ការចម្លងរោគ៖ នៅក្នុងកន្លែងទំនេរ អវត្តមាននៃខ្យល់ និងឧស្ម័នផ្សេងទៀតរារាំងសម្ភារៈដាក់ស្រទាប់ពីប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័នបរិយាកាស ដែលអាចបំពុលខ្សែភាពយន្ត។
ភាពស្អិតប្រសើរឡើង៖ កង្វះខ្យល់មានន័យថាខ្សែភាពយន្តនេះស្អិតជាប់ដោយផ្ទាល់ទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមដោយគ្មានហោប៉ៅខ្យល់ ឬឧស្ម័នអន្តរកាលផ្សេងទៀតដែលអាចធ្វើឱ្យចំណងចុះខ្សោយ។
គុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ លក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាសអនុញ្ញាតឱ្យមានការគ្រប់គ្រងកាន់តែប្រសើរឡើងលើដំណើរការដាក់ស្រទាប់ ដែលបណ្តាលឱ្យខ្សែភាពយន្តកាន់តែឯកសណ្ឋាន និងមានគុណភាពខ្ពស់។
ការដាក់លោហៈនៅសីតុណ្ហភាពទាប៖ វត្ថុធាតុមួយចំនួននឹងរលួយ ឬមានប្រតិកម្មនៅសីតុណ្ហភាពដែលត្រូវការសម្រាប់ការដាក់លោហៈ ប្រសិនបើវាត្រូវបានប៉ះពាល់នឹងឧស្ម័នបរិយាកាស។ នៅក្នុងកន្លែងទំនេរ វត្ថុធាតុទាំងនេះអាចត្រូវបានដាក់លោហៈនៅសីតុណ្ហភាពទាបជាង។
ប្រភេទនៃដំណើរការថ្នាំកូតសុញ្ញากาศ
ការដាក់ចំហាយទឹករូបវន្ត (PVD)
ការហួតដោយកម្ដៅ៖ សម្ភារៈត្រូវបានកំដៅក្នុងកន្លែងទំនេររហូតដល់វាហួត ហើយបន្ទាប់មកកកនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការបាញ់ទឹក៖ ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់បាញ់ទម្លាក់សម្ភារៈគោលដៅ ដែលបណ្តាលឱ្យអាតូមត្រូវបានច្រានចេញ និងដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការដាក់ឡាស៊ែរដែលមានជីពចរ (PLD): ធ្នឹមឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ត្រូវបានប្រើដើម្បីធ្វើឱ្យសម្ភារៈហួតចេញពីគោលដៅ ដែលបន្ទាប់មកនឹងកកនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការដាក់ចំហាយគីមី (CVD)
CVD សម្ពាធទាប (LPCVD): បានអនុវត្តនៅសម្ពាធទាបដើម្បីបន្ថយសីតុណ្ហភាព និងបង្កើនគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។
CVD ដែលបង្កើនប្លាស្មា (PECVD)៖ ប្រើប្រាស់ប្លាស្មាដើម្បីធ្វើឱ្យប្រតិកម្មគីមីសកម្មនៅសីតុណ្ហភាពទាបជាង CVD ប្រពៃណី។
ការដាក់ស្រទាប់អាតូម (ALD)
ALD គឺជាប្រភេទ CVD មួយប្រភេទដែលដាក់ស្រទាប់អាតូមមួយក្នុងពេលតែមួយ ដែលផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងដ៏ល្អឥតខ្ចោះលើកម្រាស់ និងសមាសភាពនៃខ្សែភាពយន្ត។
ឧបករណ៍ដែលប្រើក្នុងថ្នាំកូតសុញ្ញកាស
បន្ទប់សុញ្ញកាស៖ ជាសមាសធាតុសំខាន់ដែលដំណើរការស្រោបកើតឡើង។
ម៉ាស៊ីនបូមធូលី៖ ដើម្បីបង្កើត និងថែរក្សាបរិស្ថានបូមធូលី។
ឧបករណ៍កាន់ស្រទាប់ខាងក្រោម៖ ដើម្បីកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមឲ្យនៅនឹងកន្លែងអំឡុងពេលដំណើរការលាបថ្នាំ។
ប្រភពហួត ឬ ស្ព្រាយ៖ អាស្រ័យលើវិធីសាស្ត្រ PVD ដែលបានប្រើ។
ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល៖ សម្រាប់ការអនុវត្តថាមពលទៅប្រភពហួត ឬសម្រាប់បង្កើតប្លាស្មានៅក្នុង PECVD។
ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព៖ សម្រាប់កំដៅស្រទាប់ខាងក្រោម ឬគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពដំណើរការ។
ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យ៖ ដើម្បីវាស់កម្រាស់ ឯកសណ្ឋាន និងលក្ខណៈសម្បត្តិផ្សេងទៀតនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។
ការអនុវត្តថ្នាំកូតសុញ្ញកាស
ថ្នាំកូតអុបទិក៖ សម្រាប់ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង ថ្នាំកូតឆ្លុះបញ្ចាំង ឬថ្នាំកូតតម្រងលើកញ្ចក់ កញ្ចក់ និងសមាសធាតុអុបទិកផ្សេងទៀត។
ថ្នាំកូតតុបតែង៖ សម្រាប់ផលិតផលជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងគ្រឿងអលង្ការ នាឡិកា និងគ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត។
ថ្នាំកូតរឹង៖ ដើម្បីបង្កើនភាពធន់នឹងការពាក់ និងភាពធន់លើឧបករណ៍កាត់ គ្រឿងបន្លាស់ម៉ាស៊ីន និងឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រ។
ថ្នាំកូតរបាំង៖ ដើម្បីការពារការច្រេះ ឬការជ្រាបចូលលើស្រទាប់ខាងក្រោមលោហៈ ផ្លាស្ទិច ឬកញ្ចក់។
ថ្នាំកូតអេឡិចត្រូនិច៖ សម្រាប់ការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចផ្សេងៗទៀត។
គុណសម្បត្តិនៃថ្នាំកូតសុញ្ញកាស
ភាពជាក់លាក់៖ ថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសអនុញ្ញាតឱ្យមានការគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់លើកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត និងសមាសភាព។
ឯកសណ្ឋាន៖ ខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានដាក់ស្មើៗគ្នាលើរាងស្មុគស្មាញ និងតំបន់ធំៗ។
ប្រសិទ្ធភាព៖ ដំណើរការនេះអាចធ្វើស្វ័យប្រវត្តិកម្មខ្ពស់ ហើយសមរម្យសម្រាប់ការផលិតបរិមាណច្រើន។
ភាពស្និទ្ធស្នាលនឹងបរិស្ថាន៖ ថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសជាធម្មតាប្រើប្រាស់សារធាតុគីមីតិចជាង និងបង្កើតកាកសំណល់តិចជាងវិធីសាស្ត្រថ្នាំកូតផ្សេងទៀត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៥ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៤