ថ្នាំកូត PVD (Physical Vapor Deposition) គឺជាបច្ចេកទេសដែលប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់បង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើងៗ និងថ្នាំកូតលើផ្ទៃ។ ក្នុងចំណោមវិធីសាស្រ្តទូទៅ ការហួតដោយកម្ដៅ និងការប្រោះទឹក គឺជាដំណើរការ PVD សំខាន់ពីរ។ ខាងក្រោមនេះជាការបំបែកនៃដំណើរការនីមួយៗ៖
១. ការហួតដោយកម្ដៅ
- គោលការណ៍៖សម្ភារៈត្រូវបានកំដៅនៅក្នុងបន្ទប់សុញ្ញកាសរហូតដល់វាហួត ឬក្លាយជាសូលីម៉ាត។ សម្ភារៈដែលហួតរួចបន្ទាប់មកនឹងរួមតូចទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយ។
- ដំណើរការ៖
- សម្ភារៈប្រភព (លោហៈ សេរ៉ាមិច។ល។) ត្រូវបានកំដៅ ជាធម្មតាដោយប្រើកំដៅធន់ទ្រាំ ធ្នឹមអេឡិចត្រុង ឬឡាស៊ែរ។
- នៅពេលដែលសម្ភារៈឈានដល់ចំណុចហួតរបស់វា អាតូម ឬម៉ូលេគុលចាកចេញពីប្រភព ហើយធ្វើដំណើរឆ្លងកាត់កន្លែងទំនេរទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោម។
- អាតូមដែលហួតបានរួមតូចនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម បង្កើតជាស្រទាប់ស្តើងមួយ។
- កម្មវិធី៖
- ជាទូទៅត្រូវបានគេប្រើសម្រាប់ដាក់លោហៈ អង្គធាតុពាក់កណ្តាលចរន្ត និងអ៊ីសូឡង់។
- កម្មវិធីរួមមានថ្នាំកូតអុបទិក ការបញ្ចប់តុបតែង និងមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។
- គុណសម្បត្តិ៖
- អត្រាខ្ពស់នៃការដាក់ប្រាក់។
- សាមញ្ញ និងសន្សំសំចៃសម្រាប់សម្ភារៈមួយចំនួន។
- អាចផលិតខ្សែភាពយន្តសុទ្ធខ្ពស់។
- គុណវិបត្តិ៖
- កំណត់ចំពោះវត្ថុធាតុដែលមានចំណុចរលាយទាប ឬសម្ពាធចំហាយខ្ពស់។
- ការគ្របដណ្តប់ជំហានមិនល្អលើផ្ទៃស្មុគស្មាញ។
- ការគ្រប់គ្រងតិចជាងមុនលើសមាសធាតុខ្សែភាពយន្តសម្រាប់យ៉ាន់ស្ព័រ។
២. ការហៀរចេញ
- គោលការណ៍៖ អ៊ីយ៉ុងពីប្លាស្មាត្រូវបានបង្កើនល្បឿនឆ្ពោះទៅរកវត្ថុធាតុគោលដៅ ដែលបណ្តាលឱ្យអាតូមត្រូវបានច្រានចេញ (ហៀរចេញ) ពីវត្ថុធាតុគោលដៅ ដែលបន្ទាប់មកធ្លាក់ទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
- ដំណើរការ៖
- សម្ភារៈគោលដៅ (លោហៈ យ៉ាន់ស្ព័រ។ល។) ត្រូវបានដាក់ក្នុងបន្ទប់ ហើយឧស្ម័ន (ជាធម្មតាអារហ្គុន) ត្រូវបានណែនាំ។
- វ៉ុលខ្ពស់ត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីបង្កើតប្លាស្មា ដែលធ្វើឱ្យឧស្ម័នមានអ៊ីយ៉ូដ។
- អ៊ីយ៉ុងដែលមានបន្ទុកវិជ្ជមានពីប្លាស្មាត្រូវបានបង្កើនល្បឿនឆ្ពោះទៅរកគោលដៅដែលមានបន្ទុកអវិជ្ជមាន ដោយបណ្តេញអាតូមចេញពីផ្ទៃ។
- បន្ទាប់មក អាតូមទាំងនេះដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម បង្កើតបានជាស្រទាប់ស្តើងមួយ។
- កម្មវិធី៖
- ប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ស្រោបកញ្ចក់ និងបង្កើតថ្នាំកូតដែលធន់នឹងការពាក់។
- ល្អសម្រាប់ការបង្កើតយ៉ាន់ស្ព័រ សេរ៉ាមិច ឬខ្សែភាពយន្តស្តើងស្មុគស្មាញ។
- គុណសម្បត្តិ៖
- អាចដាក់សម្ភារៈជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងលោហធាតុ យ៉ាន់ស្ព័រ និងអុកស៊ីដ។
- ឯកសណ្ឋានខ្សែភាពយន្ត និងការគ្របដណ្ដប់ជំហានដ៏ល្អឥតខ្ចោះ សូម្បីតែលើរាងស្មុគស្មាញក៏ដោយ។
- ការគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់លើកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត និងសមាសភាព។
- គុណវិបត្តិ៖
- អត្រានៃការដាក់យឺតជាងបើធៀបនឹងការហួតដោយកម្ដៅ។
- ថ្លៃជាងដោយសារតែភាពស្មុគស្មាញនៃឧបករណ៍ និងតម្រូវការថាមពលខ្ពស់ជាង។
ភាពខុសគ្នាសំខាន់ៗ៖
- ប្រភពនៃការដាក់ប្រាក់៖
- ការហួតដោយកម្ដៅប្រើកម្ដៅដើម្បីហួតសម្ភារៈ ខណៈពេលដែលការបាញ់ទឹកប្រើការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងដើម្បីបណ្តេញអាតូមចេញ។
- ថាមពលដែលត្រូវការ៖
- ការហួតដោយកម្ដៅជាធម្មតាត្រូវការថាមពលតិចជាងការបាញ់ទឹក ព្រោះវាពឹងផ្អែកលើកំដៅជាជាងការបង្កើតប្លាស្មា។
- សម្ភារៈ៖
- ការបាញ់ទឹកអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់សម្ភារៈជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងសម្ភារៈដែលមានចំណុចរលាយខ្ពស់ ដែលពិបាកហួត។
- គុណភាពភាពយន្ត៖
- ការបាញ់ថ្នាំជាទូទៅផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងកាន់តែប្រសើរឡើងលើកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ឯកសណ្ឋាន និងសមាសភាព។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៧ ខែកញ្ញា ឆ្នាំ ២០២៤