ការដាក់ស្រទាប់ហ្វីលស្តើង គឺជាដំណើរការជាមូលដ្ឋានមួយដែលត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ក៏ដូចជានៅក្នុងវិស័យជាច្រើនទៀតនៃវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ និងវិស្វកម្ម។ វាពាក់ព័ន្ធនឹងការបង្កើតស្រទាប់ស្តើងនៃសម្ភារៈនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់អាចមានកម្រាស់ជាច្រើន ចាប់ពីស្រទាប់អាតូមមួយចំនួនតូច រហូតដល់កម្រាស់មីក្រូម៉ែត្រជាច្រើន។ ខ្សែភាពយន្តទាំងនេះអាចបម្រើគោលបំណងជាច្រើន ដូចជាជាចរន្តអគ្គិសនី អ៊ីសូឡង់ ថ្នាំកូតអុបទិក ឬរបាំងការពារ។
ខាងក្រោមនេះជាវិធីសាស្រ្តសំខាន់ៗដែលប្រើសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ស្តើង៖
ការដាក់ចំហាយទឹករូបវន្ត (PVD)
ការបាញ់ចេញ៖ ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ត្រូវបានប្រើដើម្បីគោះអាតូមចេញពីវត្ថុធាតុគោលដៅ ដែលបន្ទាប់មកធ្លាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការហួត៖** សម្ភារៈត្រូវបានកំដៅក្នុងកន្លែងទំនេររហូតដល់វាហួត ហើយបន្ទាប់មកចំហាយទឹកបានរួមតូចនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការដាក់ស្រទាប់អាតូម (ALD)
ALD គឺជាបច្ចេកទេសមួយដែលខ្សែភាពយន្តមួយត្រូវបានដាំដុះលើស្រទាប់ខាងក្រោមមួយស្រទាប់អាតូមក្នុងពេលតែមួយ។ វាត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងខ្លាំង ហើយអាចបង្កើតខ្សែភាពយន្តដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងស្របតាមស្តង់ដារ។
អេពីតាក់ស៊ីធ្នឹមម៉ូលេគុល (MBE)
MBE គឺជាបច្ចេកទេសលូតលាស់ epitaxial ដែលធ្នឹមអាតូម ឬម៉ូលេគុលត្រូវបានដឹកនាំទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានកំដៅ ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងគ្រីស្តាល់។
គុណសម្បត្តិនៃការដាក់ស្រទាប់ស្តើង
មុខងារប្រសើរឡើង៖ ខ្សែភាពយន្តអាចផ្តល់នូវលក្ខណៈសម្បត្តិថ្មីដល់ស្រទាប់ខាងក្រោម ដូចជាភាពធន់នឹងការកោស ឬចរន្តអគ្គិសនី។
កាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់សម្ភារៈ៖ វាអនុញ្ញាតឱ្យមានការបង្កើតឧបករណ៍ស្មុគស្មាញជាមួយនឹងការប្រើប្រាស់សម្ភារៈតិចតួចបំផុត ដែលកាត់បន្ថយការចំណាយ។
ការប្ដូរតាមបំណង៖ ខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានរៀបចំឡើងដើម្បីឱ្យមានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច អគ្គិសនី អុបទិក ឬគីមីជាក់លាក់។
កម្មវិធី
ឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ៖ ត្រង់ស៊ីស្ទ័រ សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា និងប្រព័ន្ធមីក្រូអេឡិចត្រូមេកានិច (MEMS)។
ថ្នាំកូតអុបទិក៖ ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង និងថ្នាំកូតឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់លើកញ្ចក់ និងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។
ថ្នាំកូតការពារ៖ ដើម្បីការពារការច្រេះ ឬការពាក់លើឧបករណ៍ និងគ្រឿងចក្រ។
កម្មវិធីជីវវេជ្ជសាស្ត្រ៖ ថ្នាំកូតលើការផ្សាំវេជ្ជសាស្ត្រ ឬប្រព័ន្ធចែកចាយថ្នាំ។
ជម្រើសនៃបច្ចេកទេសដាក់ស្រទាប់ការពារអាស្រ័យលើតម្រូវការជាក់លាក់នៃកម្មវិធី រួមទាំងប្រភេទសម្ភារៈដែលត្រូវដាក់ លក្ខណៈសម្បត្តិខ្សែភាពយន្តដែលចង់បាន និងការរឹតបន្តឹងលើតម្លៃ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៥ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៤